Fab 라인에서 SiC 웨이퍼는 온도 조절에 여유가 없다. 포토레지스트 베이크 중 2°C의 온도 변동만으로도 얼라인먼트가 틀어질 수 있으며, 램프 프로파일이 부정확하면 한 로트 전체가 손상된다. 우리는 이러한 현실에 맞춰 SiC 웨이퍼 처리용 히터 램프를 설계했다.
기술적으로 중요한 점
쿼츠 인클로저 안에 단파 적외선 할로겐 방출기를 사용하며, SiC의 흡수 특성에 맞게 조정하여 웨이퍼가 빠르게 가열되고 안정적으로 유지되도록 한다. 베이크 존 전반에 걸쳐 웨이퍼 단위 균일도를 ±0.1°C 이내로 유지하며, 사이클 간 반복성은 ±0.5°C 이내다. 클린룸 환경을 고려해 Class 1–100 규격에 부합하는 재료를 사용하고, 열 사이클 중 입자 발생이 없으며, 저배출 설계로 챔버 내 오염을 방지한다. 빠른 램프 상승 속도를 구현하면서도 열 예산을 초과하지 않으며, 24시간 7일 가동을 지원하는 신뢰성 프로파일로 비계획 다운타임을 최소화한다.
리소그래피 적용 시 장점
트랙 내에서 이 램프는 SiC에 대해 일관된 소프트 베이크 및 하드 베이크 프로파일을 제공해 치수 제어와 수율 손실을 방지한다. 엄격한 열 균일성 유지로 엣지 비드 및 레지스트 결함을 감소시키며, 반복 가능한 베이크 온도 제어는 재작업을 줄이고 라인 오브 사이트 프로세스 능력을 향상시킨다. 적외선 결합 효율이 높고 체류 시간 제어가 정밀하여 에너지 사용량을 줄일 수 있다. 방출기 수명과 모듈러 설계 덕분에 유지보수 주기도 연장된다.
설치 시 주의사항
램프 설치는 트랙 장비에 맞는 램프 풋프린트와 인터페이스를 일치시키고, 캐비닛 전원 공급과 전압 및 커넥터 사양을 확인하는 것으로 시작한다. 챔버 압력과 가스 플로우가 정의된 범위 내에 있어야 램프가 사양 내에서 동작하며, 이 범위를 벗어나면 균일도와 램프 상승 속도가 저하된다. 유지보수 팀과 사전에 협의하여 베이크 레시피, 온도 설정값, 인터록 로직을 맞춘 후 제품 가동을 시작해야 한다.