SiC 웨이퍼 처리 히터 램프

Fab 라인에서 SiC 웨이퍼는 온도 조절에 여유가 없다. 포토레지스트 베이크 중 2°C의 온도 변동만으로도 얼라인먼트가 틀어질 수 있으며, 램프 프로파일이 부정확하면 한 로트 전체가 손상된다. 우리는 이러한 현실에 맞춰 SiC 웨이퍼 처리용 히터 램프를 설계했다....