На производственной линии можно быстро научиться работать с оборудованием: даже незначительное изменение температуры в 0,3°C может повлиять на качество обработки пластин. Если же температура на краях пластины слишком высока, это заставляет операторов постоянно корректировать параметры процесса обработки. Пластины не прощают термической неоднородности.
Что имеет техническое значение Мы использовали в качестве нагревательных элементов в печи типа NIR галогеновые излучатели длины волн короткого инфракрасного спектра, расположенные внутри кварцевых корпусов. Цель состоит в достижении однородности температуры на всей поверхности пластины до уровня sub-millimeter, а также в сохранении постоянства параметров при каждой серии обработки. Допуск колебаний температуры составляет ±0,1°C; таким образом, не происходит перерасхода энергии при обработке слоев фоторезиста. Материалы, используемые в печи, соответствуют стандартам чистых комнат, а конструкция позволяет минимизировать количество частиц, которые могут загрязнить пластину или помещение печи.
Почему это работает Благодаря такой точности в процессе обработки растворители выделяются равномерно, а полимер движется одинаково каждый раз. Это позволяет контролировать размеры элементов пластины с высокой точностью. В результате достигается лучшая однородность на всей поверхности пластины, сокращается количество необходимых корректировок после процедуры обработки, а также можно предсказывать изменения ширины линий при изменении дозы облучения.
Система работает круглосуточно с стабильной производительностью. У нас есть устройства, которые работали более 5 000 часов без снижения производительности. Потребление энергии контролируется, что исключает необходимость использования оценочных методов.
Что нужно знать Расположение нагревательных элементов зависит от геометрии камеры печи и направления потока воздуха. Необходимо, чтобы элементы располагались так, чтобы температурный профиль совпадал с поверхностью пластины. После установки необходимо провести короткий период настройки, чтобы элементы работали стабильно.
Совместимость с чистыми комнатами классов 1–100 является стандартной, но необходимо проверить систему выпуска воздуха и его поглощение на границе между устройством и чистой комнатой. Это предотвращает возможность переноса вредных веществ в те места, где этого не нужно.