ในห้องผลิตชิป การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2 องศาเซลเซียสระหว่างกระบวนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ ไม่เพียงแต่ทำให้ค่า CD เปลี่ยนแปลงไปเท่านั้น แต่ยังทำให้เวลาในการผลิตชิปสูญเสียไปหลายชั่วโมง และทำให้ชิปที่ควรจะสามารถนำไปใช้งานได้กลายเป็นขยะไปเลย อุปกรณ์ทำความร้อนที่มีประสิทธิภาพต่ำ ทำให้การควบคุมอุณหภูมิเป็นเรื่องยาก และทำให้เวลาในการผลิตชิปลดลง
เราออกแบบอุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับการวิเคราะห์คุณสมบัติของชิปนี้ให้มีความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ และสามารถใช้งานได้ในห้องที่มีมาตรฐานสูง ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นที่ที่ใช้ในการผลิตชิปอยู่ที่ ±0.1 องศาเซลเซียสเท่านั้น ดังนั้น กระบวนการอบวัสดุจึงสามารถทำได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยมีความแปรปรวนภายในชิปน้อยมาก
อุปกรณ์นี้ใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น เพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และมีความเสียหายจากความร้อนน้อย การปรับค่าอุณหภูมิสามารถทำได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีความผิดพลาด อุปกรณ์นี้สามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ออกมา และวัสดุที่ใช้ในการสร้างอุปกรณ์นี้ก็ถูกเลือกมาเพื่อลดการปล่อยก๊าซและการปนเปื้อนของโลหะด้วย ดังนั้น คุณจึงสามารถมั่นใจได้ว่าอุปกรณ์นี้จะทำงานได้อย่างมีเสถียรภาพตลอด 24/7 โดยไม่มีปัญหาเรื่องอุณหภูมิที่ทำให้การผลิตชิปหยุดชะงัก
อุปกรณ์นี้ถูกออกแบบมาให้สามารถติดตั้งได้ในสถานีวิเคราะห์คุณสมบัติของชิป และเครื่องมือในกระบวนการผลิตต่างๆ โดยความสม่ำเสมอของอุณหภูมิเป็นสิ่งสำคัญในการผลิตชิปที่มีคุณภาพสูง ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดีจะช่วยลดจำนวนครั้งในการทำการทดสอบ และช่วยลดเวลาในการผลิตชิปได้
การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากการใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดที่มีประสิทธิภาพ และการใช้พลังงานในสภาวะพักน้อย นอกจากนี้ อายุการใช้งานที่ยาวนานยังช่วยลดความจำเป็นในการใช้ชิ้นส่วนอะไหล่ด้วย การออกแบบนี้เป็นไปตามมาตรฐานของอุปกรณ์ผลิตชิประดับนานาชาติ ดังนั้น คุณจึงสามารถใช้อุปกรณ์นี้แทนอุปกรณ์นำเข้าได้โดยไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนขั้นตอนการผลิตของคุณ
การติดตั้งอุปกรณ์นี้ทำได้ง่าย แต่อุปกรณ์นี้จำเป็นต้องมีแหล่งพลังงานที่มีความเสถียร และมีการยึดติดกับแท่นผลิตอย่างเหมาะสม คุณสามารถปรับอุปกรณ์ให้ตรงกับพื้นผิวของชิปได้อย่างรวดเร็ว
ความหนาแน่นของพลังงานสูงสุดถูกปรับให้เหมาะสมกับกระบวนการวิเคราะห์คุณสมบัติของชิป สำหรับเครื่องมือที่ต้องการประสิทธิภาพสูงในการผลิตชิป ควรตรวจสอบโปรไฟล์ความร้อนกับทีมงานของคุณก่อน
ข้อจำกัดเพียงอย่างเดียวคือการจับคู่อินเทอร์เฟซของอุปกรณ์กับเครื่องมือที่มีอยู่ หลังจากปรับอุปกรณ์ให้ตรงกันแล้ว อุปกรณ์นี้ก็จะทำงานได้ตามที่กำหนดไว้