Üretim alanında hızlı bir şekilde öğrenirsiniz: Sadece 0,3°C’lik bir sıcaklık farkı bile ürünlerin kalitesini etkiler; kenarlarında yüksek sıcaklıklar oluşursa, ürünlerin kalitesini korumak için tekrar işlemler yapmak zorunda kalırsınız. Waflar, termal düzensizlikleri affetmez.
Teknik Açıdan Önemli Olanlar NIR fırınlarının ısıtma elemanları, kuvars yapı içindeki kısa dalga boylu kızılötesi halojen vericiler üzerine kurulmuştur. Amacımız, wafer yüzeyinde milimetrenin altında bir düzenlilik sağlamak ve her seferinde aynı ayarların uygulanmasını sağlamaktır. Termal profil ±0,1°C civarında tutulur ve bu sayede ileri düzey fotoresist katmanlarının zarar görmesi engellenir. Temiz oda uyumlu malzemeler ve partikül açısından minimal tasarım sayesinde waflar ve fırın içi kirlerden arındırılır.
Neden Burada İşe Yarıyor? Litografi işlemlerinde bu hassasiyet, çözücülerin her seferinde aynı şekilde çıkmasını ve polimerlerin her seferinde aynı şekilde akmasını sağlar. Böylece tüm ürünlerde kritik boyut kontrolü daha iyi sağlanır. Sonuç olarak, wafer içinde daha iyi bir düzenlilik elde edilir, geliştirme işlemlerinden sonra yapılan düzeltmelere ihtiyaç azalır ve maruz kalma dozu değiştirildiğinde line-width davranışları öngörülebilir hale gelir.
Sistem 24/7 stabil bir şekilde çalışır. 5.000 saatten fazla çalışan cihazlarımız bile hâlâ stabil bir performans sergilemektedir. Enerji tüketimi ölçülür ve kontrollü bir şekilde yönetilir; tahminlere dayanmaz.
Bilinmesi Gerekenler Montaj işlemi, fırının geometrisi ve hava akışı düzenine bağlıdır; ısıtma elemanlarının wafer yüzeyiyle uyumlu bir şekilde yerleştirilmesi gerekir. Kurulum sonrasında vericilerin yerleşmesi ve kalibrasyon eğrisinin belirlenmesi için kısa süreli bir test gereklidir.
1–100 sınıfı temiz odalarla uyumluluk standarttır; ancak cihazın egzoz yönlendirmesi ve yerel egzoz sisteminin doğru çalıştığından emin olunmalıdır. Böylece herhangi bir gazın istenmeyen yerlere yayılması engellenir.