Yıkama aşamasını beklemeyi bırakın: İnfrARED ile sıcak hava arasındaki fark
Eğer yarı iletken üretim tesislerinde zaman geçirdiyseniz, yıkama aşamasının genellikle işlemlerin yavaşladığı bir aşama olduğunu biliyorsunuzdur. Bu, klasik bir engeldir.
Hâlâ birçok kişi sıcak hava kullanmaktadır. Sorun şu ki bu yöntem aslında konveksiyon yöntemidir. Havanın ısınmasını bekliyorsunuz, ardından odanın ısınmasını bekliyorsunuz ve ancak sonra wafer’ı ısıtabiliyorsunuz. Bu çok yavaş bir süreçtir. Sanki zamanı boşa harcıyormuşsunuz gibi geliyor.
İnfrARED’in avantajları
İnfrARED ısıtma yöntemi, sürecin akışını tamamen değiştirir. Odayı ısıtmak yerine, İnfrARED lambaları elektromanyetik radyasyonu doğrudan wafer yüzeyine gönderir. Böylece aracı unsur gereksiz hale gelir. “Isınma süresi” diye bir şey yoktur. Yıkama ve kurutma işlemleri için bu, waferların orada daha az zaman geçirmesi anlamına gelir. Daha fazla ürünü saat başına işleyebilirsiniz ve daha fazla alan gerektirmez. Bu da iş akışınız açısından büyük bir avantajdır.
Ancak normal lambaları ıslak bölgelere koymak mümkün değildir.
Su ve elektronik parçalar bir araya gelmemelidir. Nem veya su damlaları, elektronik parçaları bozacaktır. Bu yüzden özel su geçirmez kaplamalara sahip lambalar kullanılır. Böylece ısı kaynağı tam da gereken yerde kalır.
Bir uyarı: Bu lambalar çok hızlı enerji yaydığı için PID kontrolleri konusunda dikkatli olmalısınız. Ayarlar doğru yapılmazsa sıcaklık kontrolünün dışına çıkılabilir ve substrat hasar görebilir. Bu oldukça güçlü bir sistemdir; bu yüzden hassasiyet çok önemlidir.
Geçiş yapmak
Çoğu eski konveksiyon fırını için, su geçirmez İnfrARED lambalara geçiş oldukça basittir. Daha hızlı ısınma ve daha küçük bir alan gereklidir.
Başlamadan önce bir ipucu: Güç kaynağınızı kontrol edin. İnfrARED lambalar yoğun bir güç tüketir; bu da alışık olduğunuz düzgün ısıtıcı elemanlardan farklıdır. Kablolamanızın maksimum gücü kaldırıp kaldırmadığından emin olun; aksi takdirde güç düğmesine bastığınız anda sigortalar atar.