На виробничій лінії можна швидко навчитися: навіть зміна температури на 0,3°C може вплинути на параметри процесу нанесення матеріалу. Якщо ж температура на краях підвищується, це змусить вас постійно коригувати параметри процесу. Ультратонкі пластини не прощають теплової нерівномірності.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили елементи нагріву для НІР-печей на основі галогенних випромінювачів короткохвильового інфрачервоного світла, розташованих у кварцовому корпусі. Метою є досягнення максимальної однорідності температури по всій поверхні пластини, а також стабільних значень температури під час кожної процедури нагрівання. Тепловий профіль контролюється з точністю до ±0,1°C, що дозволяє уникнути надмірного нагрівання матеріалу. Матеріали, придатні для використання в чистих приміщеннях, та конструкція, яка запобігає появі частинок, допомагають уникнути забруднення пластин та приміщення печі.
Чому це ефективно
Під час процедур нагрівання в літографії така точність дозволяє забезпечити стабільний вивільнення розчинників та однаковий рух полімеру під час процесу нанесення матеріалу. Це дозволяє контролювати критичні параметри процесу на рівні всієї партії продукції. В результаті досягається краща однорідність по всій поверхні пластини, менше необхідності переробки продукції після перевірки, а також можливість передбачення характеристик ліній ширини при зміні дози опромінення.
Система працює 24/7 зі стабільною продуктивністю. У нас є пристрої, які працюють більше 5 000 годин без зниження продуктивності. Споживання енергії контролюється, що дозволяє уникнути непередбачуваних ситуацій.
Що потрібно знати
Встановлення елементів нагріву залежить від геометрії порожнини печі та розташування потоків повітря – елементи потрібно розміщувати так, щоб ізотерма збігалась з поверхнею пластини. Після встановлення потрібен короткий період налаштування для стабілізації роботи елементів нагріву та фіксації кривої калібрування.
Сумісність із чистими приміщеннями класу 1–100 є стандартною, але необхідно перевірити розташування систем відведення повітря та ефективність їхньої роботи. Це допомагає уникнути повторного накопичення шкідливих речовин у місцях, де це не потрібно.