На етапі літографії процес висушування фоторезисту за допомогою електронного променя є не просто ще одним кроком у процесі виробництва – це ключовий...

На виробничій ділянці точність обробки фоторезисту вимірюється нанометрами. Відхилення на кілька градусів під час м’якого або жорсткого випікання...