لیتھوگرافی کے عمل میں، سافٹ بیک کے دوران 0.5°C کا فرق کوئی چھوٹی غلطی نہیں ہے؛ بلکہ اس صورت میں پیدا شدہ مصنوعات کو رد کرنا پڑتا ہے۔ ہم نے اپنے سیمی کنڈکٹر ہیٹرز کو چین میں تیار کیا ہے، تاکہ عمل کے دوران درجہ حرارت کو مستحکم رکھا جاسکے – گھنٹہ بہ گھنٹہ، شفٹ بہ شفٹ۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں:
ہم ہیلوجن لیمپ ماڈیولز کو شارٹ-ویو اور میڈیم-ویو والے آپشنز کے ساتھ فراہم کرتے ہیں، تاکہ فوٹوریزسٹ کی خصوصیات اور حرارتی حالات کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جاسکے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی استحکام ±0.1°C رہتا ہے، اور اس کی پیمائش کیلئے کیلیبریٹڈ سینسرز استعمال کئے جاتے ہیں۔ ہیٹر کے جسم میں کوارٹز اور اعلیٰ خالصیت والے سیرامکس کا استعمال کیا گیا ہے؛ تاکہ کلاس 1–100 کے صاف کمروں میں کم سے کم گیسیں خارج ہوں اور کوئی ذرات پیدا نہ ہوں۔ پاور ڈینسٹی کو ایسے ہی ترتیب دیا گیا ہے کہ عمل تیزی سے اور مستحکم طریقے سے انجام پائے، تاکہ سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے عمل میں درجہ حرارت کا فرق بہت کم رہے۔ انٹرفیسز کو ایسے ڈیزائن کیا گیا ہے کہ وہ معیاری آلات کے ساتھ مطابقت رکھیں، اور مضبوط کنکٹرز اور شیلڈڈ وائرنگ کی مدد سے سگنل کی سالمیت اور EMI کو کنٹرول میں رکھا جاسکے۔
فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ میں، درجہ حرارت کی استحکام ہی اہم عنصر ہے؛ یہی چیز مصنوعات کے معیار کو برقرار رکھنے میں مدد کرتی ہے۔ ہمارے ہیٹرز، عمل کے دوران درجہ حرارت کو مستحکم رکھتے ہیں، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کو کم کرتے ہیں، اور پروسیس کو جاری رکھنے میں مدد کرتے ہیں۔
توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیونکہ ریڈیئنٹ ٹرانسفر مؤثر ہے، اور حرارتی ڈیزائن بھی بہترین ہے۔ یہ ہیٹرز 24/7 کام کر سکتے ہیں؛ یعنی 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کام کرنے کے بعد بھی ان کی کارکردگی میں 5% سے کم کمی ہوتی ہے۔ ویفر کی صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، مستقل درجہ حرارت سے سطح کی انرجی اور خشک ہونے کی رفتار مستحکم رہتی ہے؛ اس طرح حرارتی تغیرات کی وجہ سے مصنوعات کی کارکردگی میں کوئی تغیر نہیں آتا۔
مختصر یہ کہ، یہ ہیٹرز زیادہ تر ویفر ٹریک اور کوٹ/بیک پلیٹ فارمز کے ساتھ کام کرتے ہیں، لیکن ان کی انٹیگریشن کیلئے آلات کے ایئر فلو، کلیمپنگ اور سینسرز کی جگہوں کو بھی مدِ نظر رکھنا ضروری ہے۔ پروفائل کی درستگی اور کلین روم کی تصدیق کیلئے کم وقت درکار ہے۔
لیکن ایک پابندی یہ بھی ہے کہ گھنے پیکیجنگ کی وجہ سے سروسنگ میں دشواری پیش آسکتی ہے۔ لہذا، لیمپوں کی تبدیلی اور حرارتی حالات کی جانچ کے وقت کو منصوبہ بند کرنا ضروری ہے۔