Kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác trong nhà máy sản xuất wafer
Nếu bạn muốn xây dựng một nhà máy sản xuất wafer thông minh, điều đầu tiên cần loại bỏ chính là phương pháp lấy mẫu thủ công. Phương pháp này rất chậm, phiền phức, và thực sự đã lỗi thời. Bạn cần có dữ liệu được thu thập theo thời gian thực, chứ không phải dữ liệu từ 10 phút trước.
Đó chính là lúc các cảm biến hồng ngoại vào cuộc. Chúng giúp chúng ta xác định mức độ nhiệt trên bề mặt wafer mà không cần chạm vào chúng. Không cần tiếp xúc nghĩa là không có nguy cơ bị nhiễm bẩn hay căng thẳng cơ học. Như vậy, quy trình sản xuất sẽ sạch sẽ hơn.
Cách hoạt động của các cảm biến
Trong nhà máy sản xuất wafer, nếu nhiệt độ không đồng đều, bạn sẽ gặp rắc rối. Chúng tôi sử dụng các cảm biến hồng ngoại có độ phân giải cao để theo dõi sự lan truyền của nhiệt trên bề mặt wafer. Các cảm biến này thu nhận bức xạ hồng ngoại và chuyển đổi chúng thành bản đồ kỹ thuật số. Vì chúng được kết nối trực tiếp với hệ thống PLC hoặc SCADA, bạn sẽ nhận được dữ liệu theo thời gian thực.
Áp dụng trong thực tế
Khi kết nối các cảm biến này với hệ thống kỹ thuật số, việc suy đoán sẽ không còn cần thiết nữa. Chúng tôi thiết kế các hệ thống này để có thể hoạt động tốt trong điều kiện khắc nghiệt trong lò CVD hoặc lò nung – nơi có áp suất thấp và nhiệt độ cao. Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể điều chỉnh các linh kiện gia nhiệt một cách tức thì. Nếu một khu vực nào đó bị quá nóng, hệ thống sẽ tự động giảm nhiệt độ cho khu vực đó. Rất đơn giản. Đây chính là cách để tránh lãng phí wafer và giảm tỷ lệ wafer hỏng.
Nhược điểm (vì luôn có những điểm yếu)
Các cảm biến hồng ngoại không phải là công cụ “đặt xong là quên”. Hiệu suất của chúng phụ thuộc vào khả năng phát ra bức xạ hồng ngoại của vật liệu. Nếu bạn thay đổi vật liệu từ silic sang nitrua gallium, bạn cần phải điều chỉnh lại các cảm biến. Nếu không, dữ liệu thu được sẽ sai lệch. Hãy chú ý đến cửa sổ của cảm biến; các chất phụ phẩm trong quy trình sản xuất thường tích tụ trên thấu kính, làm cản trở tín hiệu và khiến nhiệt độ được ghi nhận thấp hơn thực tế. Hãy chăm sóc các cảm biến một cách cẩn thận. Nếu không, dữ liệu sẽ bị sai lệch, và bạn lại phải suy đoán từ đầu.