真正掌控晶圆上的温度状况
如果你希望打造智能化工厂，那么首先需要摒弃传统的手动采样方式。这种方式既慢又繁琐，而且显然已经过时了。你需要的是实时数据流，而不是十分钟前的静态数据。 这时，红外传感器就派上用场了。它们能够无需接触晶圆就能检测出其表面的温度分布情况。由于没有物理接触，因此不会造成污染或机械应力，操作起来更加干净高效。
数据的运作方式
在晶圆制造过程中，如果温度分布不均匀，那可就麻烦了。我们使用高分辨率的红外传感器来实时监测热量在晶圆表面的扩散情况。 这些传感器能够捕捉到红外辐射，并将其转化为数字地图。由于它们可以直接连接到PLC或SCADA系统中，因此你可以获得实时温度数据，无需等待延迟后的结果。
在实际应用中的表现
当这些传感器被接入数字化系统后，就再也不用靠猜测了。我们设计的系统能够承受CVD或退火炉内的极端环境——比如高真空和极高温度。 最棒的是，你可以随时调整加热元件的工作状态。如果某个区域的温度过高，系统会自动降低其温度。就这么简单。这样就能避免浪费晶圆，降低废品率。
需要注意的问题（因为总会有问题存在）
请注意，这些并不是那种“设置好之后就不用管了”的工具。 红外传感器的性能取决于材料的发射率。如果你将材料从硅换成氮化镓，就必须重新校准传感器。否则，得到的数据就会不准确。 另外，还要注意传感器窗口的清洁情况。工艺产生的副产品容易在透镜表面积聚，从而干扰信号传输，导致测得的温度低于实际值。因此，必须定期对传感器进行维护。如果不这么做，数据就会出错，你又得重新依靠猜测了。