用于晶圆的精密红外传感器

真正掌控晶圆上的温度状况 如果你希望打造智能化工厂，那么首先需要摒弃传统的手动采样方式。这种方式既慢又繁琐，而且显然已经过时了。你需要的是实时数据流，而不是十分钟前的静态数据。 这时，红外传感器就派上用场了。它们能够无需接触晶圆就能检测出其表面的温度分布情况。由于没有物理接触，因此不会造成污染或机...