与真空环境兼容的红外加热器

如何保持100级洁净室的清洁状态 在100级洁净室或真空环境中工作时，最令人头疼的问题就是“气体泄漏”。大多数普通加热元件在这种环境下都会带来麻烦——它们在加热过程中会释放出挥发性有机化合物，或者产生微小的颗粒物。如果你正在处理晶圆或高纯度光学涂层，那可真是灾难性后果。哪怕有一粒微小的杂质，整批产...