如何保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净室或真空环境中工作时，最令人头疼的问题就是“气体泄漏”。大多数普通加热元件在这种环境下都会带来麻烦——它们在加热过程中会释放出挥发性有机化合物，或者产生微小的颗粒物。如果你正在处理晶圆或高纯度光学涂层，那可真是灾难性后果。哪怕有一粒微小的杂质，整批产品都会报废。
为了解决这个问题，我们使用的是高纯度的合成石英红外灯。这类灯专门为真空环境设计，因此不必担心污染问题会影响工作效果。
为什么选择高纯度石英？
我们使用的是几乎不含杂质的熔融石英。这样做的目的是从源头上防止颗粒物的产生。与普通玻璃不同，这种材料在高温下不会分解或释放气体。此外，这类灯还采用短波红外辐射，这样能量就能直接作用于工件上，而不会浪费在加热整个真空环境上，从而确保加热区域得到精确控制。
最棘手的问题：真空密封
实际上，灯与真空法兰之间的密封部分最容易出问题，这也是最容易发生故障的地方。因此，我们不会使用普通的连接器。我们会使用专门的电极和密封装置，这样才能承受高真空环境。不能随便用市面上的连接器，因为这些材料必须能够经受住反复的加热和冷却而不出现裂纹或颗粒物泄漏的情况。
我们可以根据具体腔室的大小来调整功率和电压。不过需要注意的是，虽然更高的功率能带来更大的热量，但你必须确保真空泵能够跟上这个需求。否则，腔室壁就会过热。
几条注意事项（“不要这样做”的清单）
高纯度石英虽然很棒，但它也很脆弱。它虽然能承受极高的温度，但却不耐撞击。如果灯被摔坏，或者安装不当，就很容易出现裂纹。而在真空环境中，哪怕只有微小的裂缝，也会导致压力迅速下降。
最后一点建议：一定要戴上手套。虽然这听起来很简单，但皮肤上的油脂会在石英表面留下痕迹。这些痕迹会在灯启动时形成“热点”，而正是这些热点导致灯过早损坏。小心处理，才能让石英灯长久使用。