半导体烤箱加热元件

在生产线上，人们很快就能掌握相关技巧：哪怕温度只变化0.3摄氏度，都可能影响光刻过程的精度；而如果加热不均匀，导致芯片边缘过热，那就需要再次对芯片进行处理。芯片无法容忍这种温度不均匀的情况。 技术上的关键点 我们设计的NIR烤箱，其加热元件是由石英材质制成的短波红外卤素发射器构成的。这样的设计旨在...