为什么我们在半导体制造中放弃热风加热，转而使用真空红外线加热器？ 如果你希望加快半导体的深度加工速度，那么你肯定知道，等待反应室升温的过程极其耗时。 长期以来，我们一直依赖强制热风来加热。但问题在于：在晶圆真正感受到热量之前，必须先让整个反应室内的空气、墙壁等所有物体都升温。这种方式效率极低。 因...

如何保持100级洁净室的清洁状态 在100级洁净室或真空环境中工作时，最令人头疼的问题就是“气体泄漏”。大多数普通加热元件在这种环境下都会带来麻烦——它们在加热过程中会释放出挥发性有机化合物，或者产生微小的颗粒物。如果你正在处理晶圆或高纯度光学涂层，那可真是灾难性后果。哪怕有一粒微小的杂质，整批产...