Jak zajistit bezpečnost vozíků v čisté místnosti (a zachovat celistvost waferů)
V čisté místnosti není jediný malý elektrický oblouk nebo únik proudu jen drobnou poruchou – je to katastrofa. Může totiž zničit celou šarži waferů během okamžiku. Proto navrhujeme naše vyhřívací prvky tak, aby zůstaly termicky stabilní, aniž by narušily elektrickou integritu všech ostatních komponent.
Proč testujeme každý jeden trubice
Některé firmy provádějí „náhodné kontroly“ – testují jednu z deseti jednotek a doufají v to nejlepší.
My to tak neděláme.
Každá vyhřívací trubice, kterou vyrábíme, prochází důkladným testem odolnosti vůči vysokému napětí a odporu izolace, ještě než vůbec opustí naši továrnu.
Důvod je prostý: vyhřívací prvky se obvykle nacházejí uvnitř složitých zařízení plných velmi citlivých senzorů. Pokud existuje mikroskopická trhlina v izolaci nebo špatně spojená součástka, může proud uniknout přímo do rámu vozíku. Ani si toho nevšimnete – dokud všechno nezapojíte do čisté místnosti a všechno nezačne fungovat špatně. My tyto úniky zachytíme zde, abyste je nenašli tam.
Řešení problémů s teplem a úniky proudu
Vysoce výkonné vyhřívací prvky se velmi zahřívají. Tyto neustálé cykly ohřevu a chlazení způsobují, že materiály se rozpínají a smršťují. Časem to způsobuje velké napětí na izolaci. Abychom tomu zabránili, používáme materiály, které si zachovávají svou dielektrickou pevnost i při maximálních teplotách.
Ale pozor – naše trubice jsou sice velmi odolné, ale nemohou opravit špatnou instalaci. Pokud je zapojení levné nebo rám vozíku není správně uzemněn, vnitřní izolace nemůže zabránit vnějšímu krátkému obvodu. To je vaše odpovědnost.
Realita opotřebení
Testování vad v továrně je skvělé, ale nezastaví čas.
Po tisících hodinách provozu začíná tepelná oxidace poškozovat vnější vrstvu izolace. Je to prostě nevyhnutelné. Abychom se vyhnuli náhlému selhání, doporučuji provádět kontrolu odporu izolace každé šest měsíců.
Je to rychlá kontrola, která zabrání tomu, aby se malý únik proudu proměnil v úplné selhání celého systému.