Im Bereich der Lithografie kann ein PEB-Hitzer, der auch nur 0,2 °C abweicht, dazu führen, dass die Ränder der CDs beschädigt werden – und damit auch die Qualität der Produkte beeinträchtigt wird. Wir haben diesen Heizer entwickelt, um diese Unberechenbarkeiten auszuschließen, sodass die Chemikalien des Photoresists sich genau so verhalten, wie es vorgesehen ist.
Was wirklich wichtig ist:
Wir streben eine thermische Homogenität auf Wafer-Ebene von ±0,1 °C an. Dadurch sind sowohl die sanfte als auch die intensive Erhitzungsschritte wiederholbar – Lot für Lot. Kurzwellige Infrarotkomponenten sorgen für schnelle und präzise Temperaturanpassungen. Die Heizzone ist so konzipiert, dass keine Partikel entstehen – dadurch kann sie problemlos in Reinräumen der Klassen 1–100 eingesetzt werden, ohne dass ein Kontaminationsrisiko entsteht. Leistung, Spannung und Abmessungen entsprechen den Standards der gängigen Geräte. Zudem ist die Schnittstelle so gestaltet, dass sie einfach in Ihre bestehende Infrastruktur integriert werden kann.
Warum das in der Produktion wichtig ist:
In Großserienfabriken ist die Temperaturregulierung durch PEB-Geräte entscheidend für die Genauigkeit der Maße sowie für die Qualität der Produkte. Mit einer Homogenität von ±0,1 °C können Abweichungen innerhalb eines Lotes sowie zwischen verschiedenen Loten minimiert werden. Dadurch bleibt der Prozess stabil und es entsteht weniger Ausschuss. Der Energieverbrauch wird optimiert, da das System schnell auf die gewünschte Temperatur kommt und diese stabil hält – weniger unnötige Wärmeentwicklung, weniger Nachkalibrierungen. Das Design ist für einen 24/7-Betrieb geeignet, wobei die Wartungsintervalle lang und vorhersehbar sind. Mit anderen Worten: Sie erhalten kontinuierlichen Betrieb – keinen Stillstand.
Was vor dem Einbau überprüft werden muss:
Dieser Heizer wird als direkter Ersatz für internationale Standards für Halbleitergeräte entwickelt. Dennoch hängt die endgültige Kompatibilität von der Schnittstelle Ihres Geräts ab. Überprüfen Sie vor dem Einbau die Befestigungsmöglichkeiten, die Anschlussarten sowie eventuelle schutzartbedingte Anforderungen. Planen Sie außerdem einen kurzen Testlauf, um die neue Erhitzungskurve zu überprüfen und die Stabilität der CDs zu sichern.