Arrêtez de vous brûler les mains avec votre boîte à gants pour semiconducteurs
Si vous avez déjà travaillé avec une boîte à gants pour semiconducteurs utilisant un système de chauffage conventionnel, vous connaissez bien les difficultés liées à cet usage. Il faut augmenter la température pour que le substrat atteigne la température souhaitée, mais cela fait que tout le châssis devient comme un radiateur. Les parois de la boîte deviennent extrêmement chaudes. C’est ennuyeux, c’est une perte d’énergie, et c’est aussi un risque pour la sécurité.
Nous avons trouvé une solution meilleure : cessons de chercher à chauffer l’air, et utilisons plutôt des radiations infrarouges dirigées.
Comment ça marche ?
Imaginez le soleil : il ne chauffe pas le vide de l’espace pour atteindre la Terre ; il envoie simplement son énergie directement vers nous. C’est exactement ce que font les éléments en quartz à ondes courtes. L’énergie se déplace en ligne droite et atteint directement la pièce à travailler. L’air à l’intérieur de la boîte reste relativement frais, ce qui signifie que les parois internes ne deviennent pas trop chaudes. Vous atteignez ainsi rapidement la température souhaitée, sans endommager le reste du matériel.
Comment bien installer les éléments de chauffage ?
En général, nous utilisons des tubes en quartz à haute densité. Selon l’espace disponible, vous pouvez les connecter pour chauffer rapidement ou pour maintenir une température constante. Mais attention : les supports sont importants. Comme ces éléments deviennent extrêmement chauds en un seul point, vous ne pouvez pas les fixer simplement avec des supports en acier standard. Sinon, la chaleur retournera dans le châssis, et vous reviendrez au point de départ. Utilisez donc des matériaux à faible conductivité thermique, afin que la chaleur reste là où elle doit être.
Les compromis
Rien n’est parfait. Comme les rayons infrarouges sont dirigés, vous ne pouvez pas compter sur les courants d’air pour compenser les zones froides. Si votre pièce a une forme particulière, il y aura des zones froides. Il faut donc choisir judicieusement l’emplacement des lampes, afin que chaque centimètre du substrat soit bien chauffé.
Un dernier conseil : surveillez bien votre régulateur PID. S’il n’est pas correctement réglé, il va faire fonctionner les lampes de manière répétée, ce qui accélère leur usure. Utilisez plutôt un démarrage progressif. Vos lampes – et votre budget – vous en seront reconnaissants.