Pourquoi les réflecteurs revêtus d’or sont vraiment importants pour vos wafer
Si vous chauffez des wafer en silicium et que votre châssis devient trop chaud, c’est comme si vous jetiez de l’argent par les fenêtres. C’est une faille de conception, tout simplement. La plupart des gens commencent par utiliser des réflecteurs en aluminium, mais le problème, c’est qu’ils absorbent trop d’énergie.
C’est pourquoi nous utilisons l’or. En recouvrant les réflecteurs d’or, nous nous assurons que les rayonnements infrarouges émis par la lampe se dirigent bien là où ils doivent aller : directement sur le wafer.
Le secret réside dans la physique. L’or gère mieux le spectre infrarouge que l’acier ou l’aluminium poli. Il ne “capture” pas les photons ; il les renvoie. Cela permet d’obtenir une distribution plus homogène de la chaleur, ainsi qu’une température constante sur tout le wafer. Plus besoin de se demander si les bords sont aussi chauds que le centre.
Mais il y a un problème : lorsque l’on utilise des lampes à haute puissance dans un espace restreint, les choses deviennent intenses. Si l’on combine une lampe IR à haute puissance avec un réflecteur en or, il faut être très prudent en ce qui concerne la ventilation. Comme l’or est très efficace pour renvoyer la chaleur, toute radiation qui ne touche pas le wafer va se diriger vers le châssis. Sans une bonne ventilation, on risque de voir les connecteurs fondre ou les supports se déformer. Ce n’est certainement pas une façon agréable de passer un mardi.
Vaut-il vraiment le prix ? L’or n’est pas bon marché. Si vous effectuez des travaux à faible précision, c’est probablement excessif. On n’a pas besoin d’une Ferrari pour aller au supermarché.
Mais dans le traitement des semi-conducteurs ? L’uniformité thermique est essentielle. Dans ce domaine, la stabilité et l’économie d’énergie font que le coût n’est pas un problème.
Un conseil utile : vérifiez l’alignement de la lampe chaque semaine. Avec un système à forte réflexivité, même une légère inclinaison peut créer des points chauds. Cela peut entraîner un dopage ou un gravage inégaux, ce qui signifie que vous devrez jeter des wafer coûteux.
Lors de l’installation, utilisez des fils résistants à haute température. Assurez-vous également que votre régulateur PID soit réglé pour une réponse rapide. L’or réagit rapidement – votre régulateur doit donc être capable de suivre.