Cessez d’attendre que le cycle de rinçage se termine : IR contre air chaud
Si vous avez passé du temps dans un atelier de fabrication de semi-conducteurs, vous savez que c’est généralement à ce stade que tout ralentit. C’est le véritable goulot d’étranglement.
Beaucoup de gens utilisent encore l’air chaud pour le rinçage. Le problème, c’est que c’est simplement une méthode de chauffage par convection : on chauffe l’air, puis on attend que la pièce devienne chaude avant de chauffer le wafer. C’est un processus lent. On a l’impression de perdre du temps.
Voici ce qu’il y a de spécial avec les lampes infrarouges (IR).
Le chauffage par infrarouges change complètement les choses. Au lieu de chauffer toute la pièce, les lampes IR émettent des rayons électromagnétiques directement sur la surface du wafer. On évite ainsi l’étape intermédiaire. Il n’y a donc pas de temps d’attente. Pour un cycle de rinçage et de séchage, cela signifie que les wafers passent beaucoup moins de temps à rester inactifs. On peut ainsi traiter plus de produits par heure, sans avoir besoin d’un espace supplémentaire. C’est un véritable avantage pour le flux de travail.
Mais on ne peut pas simplement placer une lampe ordinaire dans une zone humide.
L’eau et les circuits électroniques ne s’entendent pas. L’humidité ou même une petite goutte d’eau peuvent détruire les composants électroniques ou endommager le quartz en un instant. C’est pourquoi nous utilisons des lampes dotées de joints étanches et de revêtements résistants à l’humidité. Ainsi, la source de chaleur reste à l’endroit où elle est nécessaire : près du wafer.
Un conseil : comme ces lampes délivrent beaucoup d’énergie rapidement, il faut faire attention aux régulateurs de température. Sinon, on risque de dépasser la température souhaitée et d’endommager le substrat. C’est une technique puissante, il est donc important d’être précis.
Comment passer au système IR ?
Pour la plupart des fours conventionnels, le passage au système IR est assez simple. On obtient ainsi un chauffage plus rapide et un encombrement moindre.
Un conseil avant de commencer : vérifiez votre alimentation électrique. Les lampes IR nécessitent une puissance importante, ce qui diffère des éléments de chauffage classiques. Assurez-vous que vos câbles peuvent supporter cette puissance maximale, sinon vous risquez de faire sauter les disjoncteurs dès que vous actionnez l’interrupteur.