בחדרי הייצור, הטמפרטורה אינה רק ערך שניתן לשנותו – היא מהווה גם גבול משמעותי. שינוי של חצי מעלה בזמן החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לסטייה מהערכים הרצויים, ולכן לבזבוז רב של חומרים. לכן, עיצבנו את מודולי החימום באמצעות אינפרא-אדום כך שיענו על הדרישות הטכניות של תהליכי הליתוגרפיה ועיבוד הפוטורזיסט: חימום אחיד, ללא אפשרות לפשרות.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה ושליטה ספקטרלית מדויקת, כדי לחמם את הוופר באופן ישיר. התוצאה היא פחות עיכובים תרמיים ופחות השפעה מהסביבה החיצונית. האחידות של הטמפרטורה על פני הוופר נשמרת בטווח של ±0.1°C לאורך כל תהליך הייצור. כך, החימום הרך שומר על יציבות הפוטורזיסט ועל תהליך ההסרה של הממסים, בעוד שהחימום החזק מבטיח קשרים יציבים בין החומרים.
התאמה לחדרי ניקיון מסוג 1–100 כבר נלקחה בחשבון בעיצוב: שימוש בחומרים עם פליטה נמוכה, אופטיקה אטומה, ושום יצירת חלקיקים. המערכת שומרת על יציבות תרמית גם בפעולה רציפה, כך שניתן להשתמש בה 24/7, עם זמני תחזוקה קבועים.
למה זה עובד בייצור? ניתן להשתמש במערכת זו בתהליכי ייבוש הוופר, חימום קדם-חשיפה וחימום לאחר החשיפה, מבלי להאט את קצב הייצור. השליטה המדויקת בטמפרטורה מפחיתה את הסטיות ומשפרת את התפוקה. שינויים מהירים בטמפרטורה מקצרים את זמן התהליך ומפחיתים את צריכת האנרגיה לכל וופר. הפרופיל התרמי האחיד מפחית את מספר הפגמים על פני הוופר – כך יש פחות צורך בתיקונים.
התוצאה היא פחות סטיות, פרופילים עקביים של הפוטורזיסט, ותהליך ייצור עקבי משינה לשינה.
מה צריך לזכור? חימום באמצעות אינפרא-אדום דורש קשר ישיר בין הגלאי לוופר, כך שצורת הוופר ועיצוב המערכת ישפיעו על חלוקת הטמפרטורה. אנו מספקים מערכת חימום מושלמת – עם מיקום מדויק של הגלאי, גאומטריה מתאימה של המחזירים, ומערכת ניטור – כך שניתן להשיג את התוצאות הרצויות על גבי וופרים בעלי צורות שונות.
יש לבצע כיול לפני השימוש, כדי להתאים את המערכת לסוג הפוטורזיסט ולסוג הוופר. כמו כן, יש לוודא שההספק והממדים של המערכת תואמים את המערכות האחרות בציוד, לפני ההתקנה.