בשלב הליתוגרפיה, תהליך אפיית הרזיסט באמצעות קרן E אינו רק שלב נוסף בתהליך – הוא למעשה הגורם החשוב ביותר לשליטה ברוחב הקווים. שינוי של 5°C בטמפרטורת...

בקרקע הייצור, אתה מודד את שולי השגיאה בעיבוד פוטורזיסט בננומטרים. כמה מעלות שגיאה במהלך ההקפצה הרכה או ההקפצה הקשה מספיקות כדי להזיז ממדי מפתח...