省エネ型半導体ヒーター
なぜスマートファブには、熱を制御するために赤外線が必要なのか
インダストリー4.0のファブを構築する際には、熱の扱い方を見直す必要があります。
これまで使われてきた従来型の抵抗加熱方式では、処理速度が遅すぎます。また、熱的な遅延が生じてしまい、デジタル化された生産ラインの効率を損なってしまいます。...
防水型加熱テーブル IP44
もう、防水機能付きのヒーターを修理するのに時間を無駄にしないでください。
IP44等級の防水ヒーターの現実としては、湿気を防ぎつつ、同時に熱が効果的に働くようにする必要があります。ほとんどの場合、ヒーターの部品が壊れると、修理が大変になります。壊れた部品にアクセスするためには、機器全体を分解しなけ...
OEM半導体ヒーター素子
ファブの現場では、フォトレジスト処理中の温度変動は「いつか起こるかもしれない」という問題ではありません。これは、製品の品質を静かに悪化させる要因です。ソフトベイク時の温度が0.5°C変動するだけで、重要な寸法の制御が崩れてしまいます。また、ハードベイクの際に温度が均一でなければ、エッチング後に不良...