ファブ内の熱を正確に把握する方法 スマートファブを実現するためには、まず手動でのサンプリングをやめる必要があります。それは時間がかかり、面倒であり、正直、時代遅れです。10分前のデータではなく、リアルタイムのデータが必要です。 そこで役立つのがIRセンサーです。これにより、ウェーハに触れることなく...

IRヒーターを常に清潔な状態に保つ方法 クラス100のクリーンルームで作業を行っている場合、ほんのわずかなほこりでも、大量のウェーハが台無しになってしまうことがあります。これは非常に悩ましい問題です。ほとんどのIRランプは理論上は問題ないように見えますが、高温になると故障してしまいます。接着剤が剥...

はじめに 私たちの壁掛け式ガレージヒーターの特徴は、赤外線ランプ技術を利用している点です。正直なところ、その仕組みは非常にシンプルです。必要な場所に素早く熱を供給するのです。 例えば、寒々しい更衣室にいるとします。部屋全体の空気が温まるのを待つのは嫌でしょう。そんな時こそ、この赤外線ヒーターが役立...