Mengapa kita beralih daripada penggunaan udara panas kepada penggunaan haba inframerah dalam proses pemprosesan semikonduktor
Jika anda ingin mempercepatkan proses pemprosesan semikonduktor, anda pasti menyedari bahawa menunggu ruang tersebut dipanaskan merupakan proses yang sangat lambat.
Untuk waktu yang lama, kita bergantung pada penggunaan udara panas. Namun, masalahnya adalah kita perlu memanaskan seluruh ruangan—gas, dinding, dan segala benda di sekelilingnya—sebelum wafer benar-benar merasai kesan panasan tersebut. Proses ini sangat lambat dan tidak efisien.
Itulah sebabnya kita beralih kepada penggunaan pemanas berbasis haba inframerah. Daripada memanaskan “udara” di sekitar wafer, haba inframerah akan menghantar tenaga secara langsung ke permukaan wafer. Tidak ada perantara lagi.
Kelebihan menggunakan haba inframerah
Sistem udara panas mempunyai kelemahan dari segi masa yang diperlukan untuk memanaskan ruangan tersebut. Anda perlu menunggu waktu yang lama sebelum suhu mencapai tahap yang diinginkan. Dengan haba inframerah, masalah ini dapat diatasi sepenuhnya. Tenaga akan sampai ke wafer dengan cepat. Ini bermakna masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses pemprosesan dapat dikurangkan dari minit kepada saat sahaja. Apabila anda bekerja dalam skala besar, penjimatan waktu ini akan memberi impak yang besar terhadap jumlah kerja yang dapat diselesaikan dalam sehari.
Kesan penggunaan vakum
Dengan menggunakan vakum, cara penyebaran haba berubah. Kita tidak boleh lagi bergantung pada udara untuk menyebarkan haba. Semuanya berlaku melalui radiasi dan konduksi.
Kita perlu memastikan lampu inframerah yang digunakan mampu menghasilkan tenaga yang tinggi tanpa merosakkan filamen lampu tersebut. Ini membolehkan kita mendapatkan profil suhu yang tepat pada wafer. Namun, kita perlu berhati-hati. Jika dinding ruangan tidak dilindungi dengan baik, atau sistem penyejukan tidak berfungsi dengan baik, haba yang terrefleks akan masuk ke komponen-komponen lain. Ini boleh menjadi masalah jika tidak dirancang dengan baik.
Keseimbangan antara kelebihan dan kekurangan
Perlu diingat bahawa kita tidak boleh sekadar mengganti blower dengan lampu inframerah sahaja. Kita perlu menyesuaikan parameter PID agar sesuai dengan sistem ini. Kerana haba inframerah bertindak dengan sangat cepat, mudah untuk melebihi suhu yang diinginkan jika pengawal suhu masih diset untuk sistem udara biasa.
Pada dasarnya, kita menukar cara pemanasan yang sederhana kepada cara yang lebih presisi menggunakan lampu inframerah. Walaupun memerlukan sedikit usaha tambahan untuk mengatur sistem ini, kelajuan yang diperoleh sangat berbaloi.