Memastikan Bilik Bersih Kelas 100 Tetap Bersih
Ketika bekerja di bilik bersih kelas 100 atau dalam ruang vakum, masalah “pelepasan gas” merupakan musuh utama yang perlu diatasi. Kebanyakan elemen pemanas biasa sangat tidak sesuai digunakan dalam persekitaran seperti ini. Apabila ia panas, ia akan melepaskan bahan organik yang mudah menguap (VOCs), atau menghasilkan zarah-zarah kecil. Jika anda bekerja dengan wafer atau lapisan optik yang berkualiti tinggi, ini akan menjadi bencana. Satu zarah kecil sahaja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan.
Kita atasi masalah ini dengan menggunakan lampu inframerah yang diperbuat daripada kuarsa tulen. Lampu ini direka khusus untuk digunakan dalam ruang vakum, jadi anda tidak perlu risau tentang kontaminasi yang boleh merosakkan hasil kerja anda.
Mengapa kita memilih kuarsa tulen?
Kita menggunakan silika yang hampir bebas daripada sebarang kekotoran. Tujuannya adalah untuk mencegah pelepasan zarah-zarah sebelum ia berlaku. Berbeza dengan kaca biasa, bahan ini tidak akan pecah atau melepaskan gas apabila dipanaskan. Selain itu, lampu ini menggunakan radiasi inframerah berfrekuensi rendah. Ini bermakna tenaga akan disalurkan terus ke objek yang diproses. Dengan cara ini, tenaga tidak akan dibazirkan untuk memanaskan bahagian lain di dalam ruang vakum, sekaligus memastikan suhu di kawasan pemprosesan tetap terkawal.
Cabaran utama: Sambungan vakum
Masalah utamanya ialah sambungan antara lampu dan flange vakum. Inilah titik kegagalan utama. Itulah sebabnya kami menggunakan elektrod dan sambungan khas yang mampu bertahan dalam keadaan vakum yang tinggi. Anda tidak boleh sekadar menggunakan sambungan biasa. Bahan-bahan ini perlu tahan terhadap pemanasan dan penyejukan berulang kali tanpa retak atau melepaskan zarah-zarah.
Kita juga boleh menyesuaikan kuasa dan voltan lampu agar sesuai dengan saiz bilik pemprosesan. Namun, ingatlah bahawa kuasa yang lebih tinggi akan meningkatkan kepadatan haba. Anda perlu pastikan pam vakum dapat mengekalkan tekanan yang sesuai. Anda tidak mahu dinding bilik pemprosesan menjadi terlalu panas.
Beberapa amaran penting
Kuarsa tulen memang hebat, tetapi ia sangat rapuh. Ia boleh bertahan dalam suhu yang ekstrem, tetapi ia tidak tahan jika terkena benturan. Jika lampu tersebut jatuh atau dipasang dengan cara yang salah, ia akan retak. Dalam keadaan vakum, retakan kecil pun boleh menyebabkan hilangnya tekanan dengan segera.
Satu lagi nasihat: Sentiasa pakai sarung tangan semasa mengendalikan lampu ini. Walaupun nampak mudah, minyak pada kulit boleh meninggalkan kesan pada permukaan kuarsa. Kesannya ialah timbulnya “titik panas” ketika lampu dihidupkan. Titik panas inilah yang menyebabkan lampu cepat rosak. Sentiasa berhati-hati semasa mengendalikannya, dan ia akan bertahan lebih lama.