Op de lithografieafdeling kan een PEB-verwarmer die zelfs maar 0,2°C afwijkt van het gewenste temperatuurniveau, schade toebrengen aan de randen van de CD’s en daardoor leiden tot een verminderde opbrengst. We hebben deze verwarmer ontworpen om deze variabiliteit te elimineren, zodat de chemische samenstelling van de fotoresist zich precies zoals verwacht gedraagt.
Wat belangrijk is:
We streven ernaar om een temperatuurstabiliteit van ±0,1°C te bereiken over het hele oppervlak van de verwarmer. Hierdoor zijn zowel zachte als harde verhittingprocessen herhaalbaar, lopend op verschillende batches. Korte-golflengte infraroodelementen zorgen voor snelle en nauwkeurige temperatuurregelingen, waardoor de thermische parameters goed onder controle blijven en de productietijd voorspelbaar is. De hete zone is zo ontworpen dat er geen deeltjes worden gegenereerd, zodat de verwarmer gemakkelijk kan worden gebruikt in een schone ruimte van klasse 1–100, zonder dat er risico’s op contaminatie zijn. De benodigde stroomsterkte, spanning en afmetingen voldoen aan de standaarden van andere apparaten, en de interface is zo ontworpen dat de verwarmer gemakkelijk kan worden geïntegreerd in bestaande systemen.
Waarom dit belangrijk is in de productie:
In fabrieken met hoge productiesnelheden bepaalt de temperatuurstabiliteit van de PEB-verwarmer hoe goed de kwaliteit van de producten is. Met een temperatuurstabiliteit van ±0,1°C kunnen afwijkingen tussen batches worden verminderd, blijft het proces stabiel en wordt er minder afval geproduceerd. De energieverbruik wordt optimaal gemaakt, omdat het systeem snel op het gewenste temperatuurniveau komt en dit niveau behoudt – minder onnodige verhogingen van de temperatuur en minder herkalibraties. Het ontwerp is getest voor 24/7 gebruik, met lange en voorspelbare serviceintervallen. Met andere woorden: je hebt continuïteit in de productie, geen storingen.
Dingen die je moet controleren voordat je de verwarmer installeert:
Deze verwarmer is ontworpen volgens internationale standaarden voor halfgeleiderapparatuur. Echter, de eindcompatibiliteit hangt nog steeds af van de interface van jouw apparaat. Controleer de manier van montage, de type connectoren en eventuele bescherming die nodig is voor de specifieke omstandigheden in de ruimte waarin de verwarmer wordt geplaatst. Plan na de installatie een kort testproces in om te controleren of de nieuwe temperatuurregeling werkt en of de kwaliteit van de producten stabiel is.