ในโรงงานผลิตชิป การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในขณะอบเพียง 0.5°C เท่านั้นก็สามารถทำให้ค่ามิติสำคัญของชิปเปลี่ยนไปได้ และทำให้ชิปจำนวนมากกลายเป็นชิปที่ใช้การไม่ได้ การอุ่นชิปในอุตสาหกรรม半導体นั้นต้องมีความแม่นยำสูงมาก ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการตั้งค่าอุณหภูมิที่สามารถทำซ้ำได้ในทุกช่องที่ใช้ในการอบชิป เราจึงออกแบบเทอร์โมคัปเปิลมาเพื่อตอบสนองความต้องการนี้
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้เทอร์โมคัปเปิลชนิด K ซึ่งมีจุดต่อที่มีมวลความร้อนต่ำ และมีฉนวนที่ทนต่อการออกซิเดชันได้ดี ความเร็วในการตอบสนองอยู่ที่ไม่เกิน 200 มิลลิวินาที และสามารถรักษาอุณหภูมิไว้ที่ 500°C ได้อย่างต่อเนื่อง ตัวควบคุมจะทำหน้าที่ปรับค่าผลลัพธ์ให้เป็นเส้นตรง และรูปร่างของเทอร์โมคัปเปิลก็ถูกออกแบบมาให้เหมาะสมกับรูปร่างของเครื่องอุ่นชิป เพื่อให้เราสามารถวัดอุณหภูมิของพื้นผิวชิปได้อย่างแม่นยำ
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิของชิปอยู่ในช่วง ±0.1°C โดยมีการใช้พลังงานน้อย และไม่มีการเปลี่ยนแปลงของแรงดันไฟฟ้าที่สำคัญเลย อุปกรณ์นี้เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และวัสดุและจุดต่อต่างๆ ก็ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคหรือก๊าซที่เป็นอันตราย
เหตุผลที่อุปกรณ์นี้เหมาะกับสภาพแวดล้อมการผลิตของเรา ในขั้นตอนการพิมพ์ชิปและการอบชิป อุปกรณ์นี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถรักษาค่ามิติของชิปไว้ได้ตามมาตรฐาน ลดการต้องแก้ไขชิปซ้ำ และช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ ผลลัพธ์ก็คือ ชิปมีคุณภาพสูง และมีอัตราการผลิตที่แน่นอน
การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องอุ่นชิปสามารถรักษาอุณหภูมิไว้ได้ตามที่กำหนด ไม่มีการเกินอุณหภูมิที่กำหนด อุปกรณ์นี้สามารถใช้งานได้หลายหมื่นครั้ง ซึ่งช่วยลดค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาและลดเวลาที่ชิปหยุดการทำงานโดยไม่คาดคิด
รายละเอียดที่สำคัญที่ควรให้ความสำคัญ ความแม่นยำในการติดตั้งมีความสำคัญมาก ปลายเทอร์โมคัปเปิลต้องอยู่ในตำแหน่งที่กำหนดไว้เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิตามที่ต้องการ หากเปลี่ยนไปใช้เครื่องอุ่นชิปแบบเก่า ก็จำเป็นต้องปรับตั้งค่าของตัวควบคุม เพราะมวลความร้อนจะเปลี่ยนไป ทำให้การตอบสนองของอุปกรณ์เปลี่ยนไปด้วย
ควรรักษาฉนวนของเทอร์โมคัปเปิลให้สมบูรณ์ หากบิดหรือใช้แรงมากเกินไป ก็จะทำให้การปรับอุณหภูมิเปลี่ยนไป ควรมีการตรวจสอบค่าอุณหภูมิเป็นประจำ แม้แต่เทอร์โมคัปเปิลที่ดีที่สุดก็ยังมีการเสื่อมสภาพเมื่อใช้งานไปนานๆ ดังนั้นในอุตสาหกรรม半導体 เราจึงมีการวางแผนรับมือกับสิ่งนี้ไว้แล้ว