การลดการใช้พลังงานในโรงงานผลิตชิป: การเปลี่ยนมาใช้ระบบการให้ความร้อนด้วยแสงอินฟราเรด พูดตามตรงแล้ว...

ในโรงงานผลิตชิปนั้น อุณหภูมิไม่ใช่เพียงแค่ค่าที่กำหนดไว้เท่านั้น แต่ยังเป็นขีดจำกัดสำคัญอีกด้วย...

ในห้องผลิตชิป การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2 องศาเซลเซียสระหว่างกระบวนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ ไม่เพียงแต่ทำให้ค่า CD เปลี่ยนแปลงไปเท่านั้น...