Proč v polovodičích opouštíme horký vzduch ve prospěch vakuumového infračerveného zahřevu
Pokud se snažíte urychlit procesy zpracování polovodičů, pravděpodobně jste si všimli, že čekání, dokud se komora nenahřeje, je opravdu zdlouhavé.
Dlouho jsme spoléhali na nucený proud horkého vzduchu. Ale problém je v tom, že je potřeba nahřát celou místnost – plyn, stěny, všechno – než začne deska skutečně cítit teplo. Je to pomalé a neefektivní.
Proto jsme přešli na vakuumové infračervené žárovky. Místo ohřevu „vzduchu“ kolem desky posílají infračervené žárovky energii přímo do samotné desky. Bez prostředníků.
Jde o čas.
Systémy s horkým vzduchem mají ten nepříjemný termální zpoždění. Trvá dlouho, než se teplota zvýší, a stejně tak dlouho trvá, než opět klesne.
U infračervených žárovek toto zpoždění v podstatě zmizí. Energie působí okamžitě. Mluvíme o snížení doby zpracování z minut na sekundy. V případě vysokorychlostní výroby se ty ušetřené sekundy součtem promění v obrovský nárůst toho, kolik práce můžete za den udělat.
Výhody vakuumového zahřevu
Když tento systém přeneseme do vakua, mění se pravidla hry. Už nemůžete spoléhat na vzduch jako prostředek k přenosu tepla. Vše se děje prostřednictvím záření a vedení tepla.
Naše infračervené žárovky jsou navrženy tak, aby zvládly velký výkon, aniž by došlo k poškození vláken. Dosahuje se tak velmi přesného termálního profilu na desce, ale je potřeba být opatrný.
Pokud nejsou stěny komory správně izolované, nebo pokud chladicí systémy nejsou dostatečné, odražené teplo může proniknout do uzavíracích prvků a senzorů. To může být problém, pokud na to nebudete brát ohled.
Kompromisy
Upozorňujeme: nemůžete prostě vyměnit ventilátor za žárovku a být spokojeni. Budete muset upravit parametry řídicího systému. Protože infračervené žárovky reagují velmi rychle, je snadné překročit požadovanou teplotu, pokud je řídicí systém stále nastavený pro pomalejší systém s horkým vzduchem.
V podstatě vyměňujete jednoduchost ventilátoru a potrubí za přesnost infračervených žárovek. Jde o změnu z ohřevu celé místnosti na cílený přenos energie do konkrétní oblasti. Vyžaduje to trochu více úprav, ale rychlost to stojí za to.