In der Fertigungslinie lernt man schnell: Schon eine Abweichung von 0,3 °C bei der Erwärmung kann die Qualität der Wafers beeinträchtigen. Eine zu starke Erwärmung an den Rändern der Wafers führt dazu, dass man wiederholte Prozesse durchführen muss, um die gewünschte Qualität zu erreichen. Wafers verzeihen keine thermischen Unregelmäßigkeiten.
Was technisch wichtig ist:
Wir haben die Heizelemente des NIR-Ofens so konstruiert, dass sie aus kurzwelligen Infrarot-Halogenemitttoren bestehen. Ziel ist es, eine Präzision von unter einem Millimeter auf der gesamten Fläche des Wafers zu erreichen – sowie konstante Einstellwerte bei jedem Prozesslauf. Das thermische Profil wird auf ±0,1 °C begrenzt; dadurch wird verhindert, dass die Energieverschwendung zu großen Problemen führt. Materialien, die für Reinräume geeignet sind, sowie ein Design, das Partikelbildung minimiert, sorgen dafür, dass keine Kontaminationen auf die Wafers oder in den Ofen gelangen.
Warum das hier funktioniert:
Bei den Erwärmungsprozessen in der Lithografie bedeutet diese Präzision, dass Lösungsmittel immer zuverlässig entfernt werden und der Polymer sich jedes Mal gleich verhält. Dadurch kann man die Genauigkeit der Abmessungen der Wafers besser kontrollieren. Es entstehen weniger Nachbearbeitungen nach der Inspektion, und die Linienbreite lässt sich vorhersehen, wenn man die Expositionsdosis variiert.
Das System arbeitet 24/7 mit stabiler Leistung. Wir haben Geräte, die bereits seit über 5.000 Stunden im Betrieb sind und weiterhin eine konstante Leistung liefern. Der Energieverbrauch wird gemessen und kontrolliert – es gibt keinen Raum für Schätzungen.
Was man wissen sollte:
Die Installation hängt von der Geometrie der Ofenkammer sowie vom Luftstrom ab. Die Heizelemente müssen an solchen Stellen platziert werden, wo die Isotherme mit der Fläche des Wafers übereinstimmt. Nach der Installation ist eine kurze Anlaufzeit erforderlich, damit die Emittoren richtig funktionieren und die Kalibrierungskurve festgelegt werden kann.
Kompatibilität mit Reinräumen der Klasse 1–100 ist selbstverständlich – doch man sollte die Abgasführung sowie die Absauganlagen am Gerät prüfen. Dadurch wird verhindert, dass Abgase an den falschen Stellen wieder abgelagert werden.