درک بهتر وضعیت گرمایی در کارخانههای تولید ویفر
اگر قصد دارید به سمت کارخانههای هوشمند حرکت کنید، اولین چیزی که باید کنار گذاشته شود، نمونهبرداری دستی است. این روش آهسته، پیچیده است؛ و صادقانه بگوییم، منسوخ شده است. شما به جریان دادههای لحظهای نیاز دارید، نه تصاویری که ده دقیقه پیش ثبت شدهاند.
در اینجاست که سنسورهای مادون قرمز وارد عمل میشوند. آنها امکان تعیین وضعیت گرمایی را بدون لمس ویفر فراهم میکنند. عدم تماس با ویفر به معنای عدم آلودگی و فشار مکانیکی نیز هست؛ یعنی روشی تمیزتر برای اندازهگیری گرما.
نحوه کارکرد دادهها
در کارخانههای تولید ویفر، اگر دمای سطح ویفر یکنواخت نباشد، مشکلاتی پیش خواهد آمد. ما از سنسورهای مادون قرمز با وضوح بالا برای پایش گسترش گرما در سطح ویفر استفاده میکنیم.
این سنسورها تابش مادون قرمز را دریافت کرده و آن را به یک نقشه دیجیتال تبدیل میکنند. از آنجایی که این سنسورها مستقیماً به سیستم PLC یا SCADA متصل میشوند، شما مجبور نیستید منتظر اطلاعات به تأخیر افتاده باشید؛ شما یک نقشه گرمایی لحظهای دریافت میکنید. در لحظه حال.
استفاده عملی از این سنسورها
وقتی که این سنسورها به سیستمهای دیجیتال متصل میشوند، حدس و گمانها از بین میروند. ما این سیستمها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در شرایط سخت کورههای CVD یا کورههای حرارتی مقاومت کنند؛ یعنی در شرایط فشار کم و دماهای بسیار بالا.
بهترین بخش این است که میتوانید عناصر گرمایشی را به صورت لحظهای تنظیم کنید. اگر یک منطقه دمای بیش از حدی داشته باشد، سیستم به طور خودکار دمای آن را کاهش میدهد. ساده است. این روش، راهی برای جلوگیری از هدررفت ویفرها و کاهش میزان ضایعات است.
محدودیتها (چون همیشه محدودیتی وجود دارد)
ببینید، این سنسورها ابزارهایی نیستند که بتوان آنها را فقط تنظیم کرد و فراموش کرد. عملکرد سنسورهای مادون قرمز به میزان انتشار تابش مادون قرمز بستگی دارد. اگر ماده مورد استفاده را از سیلیکون به نیترید گالیوم تغییر دهید، باید سنسورها را دوباره تنظیم کنید؛ در غیر این صورت، اعداد ارائه شده نادرست خواهد بود.
همچنین، باید مراقب پنجره سنسور نیز باشید؛ مواد ناشی از فرآیند تولید میتوانند روی لنز سنسور تجمع کنند و این امر باعث میشود دماها کمتر از حد واقعی نشان داده شوند. **مراقب نگهداری سنسورها باشید؛» اگر این کار را نکنید، دادهها نادرست خواهند بود و شما دوباره مجبور به حدس زدن خواهید بود.