Hören Sie auf, sich die Hände an der Schutzhülle der Halbleiterarbeitshalle zu verbrennen!
Wenn Sie schon einmal mit einer Halbleiterarbeitshalle arbeiten mussten, bei der Standardheizmethoden verwendet wurden, wissen Sie, wie schwierig das sein kann. Man muss die Heizung auf maximale Stufe drehen, damit das Substrat die richtige Temperatur erreicht – doch dadurch wird das gesamte Gehäuse zu einer Art Heizgerät. Die Wände werden extrem heiß – das ist nicht nur lästig, sondern auch eine Verschwendung von Energie. Zudem stellt das eine Sicherheitsgefahr dar.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Anstatt die Luft zu heizen, nutzen wir nun direktes Infrarotlicht.
Wie es funktioniert
Stellen Sie sich die Sonne vor. Die Sonne heizt den Vakuumraum im Weltraum nicht auf, um zur Erde zu gelangen – sie sendet einfach Energie direkt auf uns zu. Genau das tun wir auch mit kurzwelligen Quarzelementen. Die Energie strahlt in gerader Linie und trifft direkt auf das Werkstück. Die Luft im Inneren der Halle bleibt relativ kühl – dadurch werden die Wände nicht zu heißen Flächen. So erreichen Sie schnell die gewünschte Temperatur, ohne dass die restlichen Geräte beschädigt werden.
Die richtige Einrichtung
Wir verwenden meist Hochdichte-Quarzröhren. Je nach verfügbarer Fläche können diese Röhren so eingestellt werden, dass sie entweder schnell Wärme abgeben oder die Temperatur konstant halten.
Aber Achtung: Die Befestigungsmöglichkeiten sind wichtig. Da diese Elemente an bestimmten Stellen extrem heiß werden, darf man sie nicht einfach mit herkömmlichen Stahlhalterungen befestigen. Andernfalls wandert die Wärme wieder zurück ins Gehäuse – und Sie sind wieder am Anfang. Verwenden Sie daher Materialien mit geringer Wärmeleitfähigkeit, damit die Wärme dort bleibt, wo sie hingehört.
Die Nachteile
Nichts ist perfekt. Da Infrarotlicht gebündelt ist, kann man sich nicht darauf verlassen, dass Luftströmungen die Wärme verteilen. Wenn das Werkstück eine unregelmäßige Form hat, entstehen kühle Stellen. Man muss also sorgfältig darauf achten, wo man die Lampen platziert, damit jedes Stück des Substrats gleichmäßig beheizt wird.
Noch etwas: Achten Sie auf Ihren PID-Regler. Wenn er falsch eingestellt ist und die Leistung ständig ein- und ausschaltet, wird das die Glühfäden überlasten und die Lampen schneller zerstören, als eigentlich nötig wäre. Nutzen Sie stattdessen einen sanften Startvorgang. Dann werden Ihre Lampen – und Ihr Budget – es Ihnen danken.