Warum goldbeschichtete Reflektoren für Ihre Siliziumwafers wirklich wichtig sind
Wenn Sie Siliziumwafers erhitzen und dabei das Gehäuse zu heiß wird, verschwenden Sie im Grunde genommen Geld. Das ist ein Designfehler – ganz einfach. Die meisten verwenden Aluminiumreflektoren, doch das Problem ist, dass diese zu viel Energie aufnehmen.
Deshalb verwenden wir Gold. Durch die Beschichtung der Reflektoren mit Gold sorgen wir dafür, dass die Infrarotstrahlung direkt auf die Wafer trifft – genau dorthin, wo sie hingehört.
Das Geheimnis liegt in der Physik:
Gold kann das Infrarotspektrum besser handhaben als poliertes Stahl oder Aluminium. Es „fängt“ die Photonen nicht ein, sondern lenkt sie ab. Dadurch bleibt die Temperatur über die gesamte Wafloberfläche konstant. Man muss also nicht mehr raten, ob die Ränder genauso heiß sind wie die Mitte.
Aber hier kommt das Problem:
Wenn man hohe Leistungen in einem kleinen Raum unterbringt, um schnelle Erwärmzeiten zu erreichen, werden die Bedingungen extrem. Wenn man eine Hochleistungs-Infrarotlampe mit einem goldenen Reflektor kombiniert, muss man sorgfältig auf die Kühlung achten. Da Gold die Wärme so gut ablenkt, trifft jede Strahlung, die die Wafer nicht erreicht, auf das Gehäuse. Ohne geeignete Belüftung können die Komponenten schmelzen oder verbogen werden. Das ist sicherlich keine angenehme Situation.
Ist der Preis angemessen?
Gold ist nicht billig. Wenn man nur Arbeiten mit geringer Präzision durchführt, ist das wahrscheinlich übertrieben. Man braucht schließlich kein Ferrari, um einkaufen zu gehen.
Aber bei der Halbleiterfertigung ist thermische Gleichmäßigkeit entscheidend. In dieser Welt machen Stabilität und Energieeinsparungen den hohen Preis erst Sinnvoll.
Ein Tipp: Überprüfen Sie jeden Woche die Ausrichtung der Lampe. Bei einem hochreflektierenden System kann schon eine kleine Neigung dazu führen, dass bestimmte Stellen besonders heiß werden. Dadurch entstehen ungleichmäßige Dopingprozesse – und dann müssen teure Wafer weggeworfen werden.
Wenn Sie alles einrichten, verwenden Sie unbedingt Leitungen für hohe Temperaturen. Stellen Sie außerdem sicher, dass Ihr PID-Controller für eine schnelle Reaktionszeit eingestellt ist. Gold reagiert schnell – Ihr Controller muss damit mithalten können.