בשלב דקיקת הוופר, החלק הפנימי של הוופר נחשף, והבקרה על הטמפרטורה אינה דבר שניתן לנהל באופן גמיש. שלמות החומרים המשמשים להדפסה, לחץ האוקסיד, עיוותים – כל אלו תלויים בשליטה בטמפרטורה. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה יכול לגרום לשינוי בלחץ על החומרים, להרס הוופר כולו, ולאובדן של כל המוצרים שיוצרו. פיתחנו מערכת חימום באמצעות אינפרא-אדום, שמאפשרת שליטה יציבה בטמפרטורה, מדגם לדגם.
החימום באמצעות אינפרא-אדום מתבצע על ידי העברת אנרגיה ישירות אל השכבות הדקות של הוופר. מערכות ה-NIR שלנו מאפשרות העברת האנרגיה למקום הנכון, עם אחידות של ±0.1°C באזור הפעיל. שינויי הטמפרטורה יכולים להגיע ליותר מ-10°C/שנייה, כך שניתן לבצע תהליכי חימום בצורה יעילה, ללא עלייה בטמפרטורה המיותרת.
העיצוב של המערכת מאפשר שימוש בחדרי ניקיון מסוג 1–100: חומרים שאינם פולטים גזים, חלונות קוורץ אטומים, ומערכות אוורור שמאפשרות שליטה בכמות החלקיקים. ניתן למדוד רמת חלקיקים אפסית, ולא רק להבטיח זאת – באמצעות מעקב בזמן אמת, ניתן לשמור על רמת חלקיקים נמוכה מ-0.3 חלקיקים/סמ².
בתהליך דקיקת הוופר, החום מועבר לתוך הוופר עצמו, ולא למשטח שעליו הוא מונח. דבר זה מאפשר שמירה על אחידות החומרים המשמשים להדפסה, מזער את העיוותים, ושומר על הממדים החיוניים של הוופר. כך ניתן להשיג רמת חזרה גבוהה יותר בגובה הוופר, ולהפחית את כמות המוצרים הפגומים. כמו כן, ניתן לשלוט בתהליכי החימום בצורה יעילה, מדגם לדגם.
שימוש באנרגיה פוחת, מכיוון שהחימום מתבצע ישירות על השכבות הדקות של הוופר – ללא חימום מיותר של המשטחים האחרים. המערכות פועלות 24/7, ללא זמני עצירה לא צפויים, ויש להן עמידות של יותר מ-10,000 שעות.
ההתקנה פשוטה, אך השילוב של המערכת עם שאר המערכות הוא הכרחי. המערכת דורשת ליניה שליטה במתח של 24 וולט, אוויר נקי ויבש בלחץ של 0.4 MPa, וחדר עבודה עם חלונות קוורץ שמתאים למערכת שלכם. השילוב של המערכת עם שאר המערכות לוקח כשני ימים, כולל כיול של טבלאות ההקרנה עבור כל שכבה של הוופר.
יש להתחשב בהשפעת החום באזורים השוליים של הוופר. אנו מספקים פרוטוקולים לקביעת תנאי גבול בטוחים.