IRヒーターを常に清潔な状態に保つ方法
クラス100のクリーンルームで作業を行っている場合、ほんのわずかなほこりでも、大量のウェーハが台無しになってしまうことがあります。これは非常に悩ましい問題です。ほとんどのIRランプは理論上は問題ないように見えますが、高温になると故障してしまいます。接着剤が剥がれ落ちたり、エンドキャップからガスが放出されて、目に見えない汚染物質が基板に付着してしまいます。
半導体や医療機器の製造現場にとっては、これは大きな悩みです。
標準的な部品の問題点
実際、ほとんどのIRエミッターは有機系のシーリング材や安価な金属を使用しています。高温になると、これらの材料が劣化し、揮発性有機化合物（VOC）が空気中に放出されます。
私たちはこのような方式を捨て、高密度のセラミック製のエンドキャップを使用しています。なぜかというと、セラミックはガスを放出しないからです。高温になっても固体のまま安定しているため、微細な破片が作業面に落ちる心配がありません。
実際に効果的な素材
私たちは高純度の合成石英を使用しています。これにより、短波長のIRが容易に透過し、迅速に加熱でき、温度をより正確に制御できます。市販の石英に含まれる不純物を取り除いているため、数百回の使用後でも性能が低下することはありません。常に安定した性能を維持できます。
ただし、注意点があります。出力密度には気を付ける必要があります。小さな面積に多くのワット数を流すと、セラミックと石英が接する部分が極端に高温になります。冷却風量が適切でないと、熱衝撃が起こります。私は常に段階的な加熱を推奨します。そうすれば、石英とセラミックが自分のペースで膨張し、ひび割れを防げます。
ご自身の工場での使用方法
これらのエミッターは、基本的にそのまま置き換えるだけで済みます。全体の構造を再構築する必要はありません。
最良な点は、安価なランプで起こる「ほこりの問題」がなくなることです。つまり、クリーンルームを頻繁に清掃する必要がなくなります。安定した温度管理が可能で、生産過程での汚染も防げます。そうすれば、ランプのエンドキャップが剥がれて製品が台無しになる心配もありません。