クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
正直に言って、クラス100のクリーンルームで加熱処理を行うのは大変な作業です。わずかな酸化物の破片やガスの放出だけで、作業した製品全体が無価値になってしまいます。半導体工場や医療機器の組み立てラインでは、1マイクロメートルほどのほこりでも大問題です。
そのため、私たちは通常の加熱素子の代わりに、高純度の合成石英を使用しているのです。
安価なガラスの問題点
ほとんどのランプは低品質の石英を使用しています。問題は、これらの石英には熱に耐えられない不純物が含まれていることです。そのため、加熱されると微細な粒子が飛び散り、空気中に混入してしまいます。
私たちは異なる方法を採用しています。化学的に安定した性質を持つ溶融シリカを使用しています。この素材は剥がれ落ちることもなく、空気中に粒子を飛ばすこともありません。その結果、基板には何の影響も与えず、きれいな熱放射が得られます。
適切な場所に熱を送る
私たちはフィラメントの形状やガスの量を調整することで、IRエネルギーが正確に必要な場所に届くようにしています。目的は、ワークピースに熱を与えつつ、クリーンルーム全体をサウナのようにしてしまわないことです。
ただ一つ注意点があります。これらの装置は非常に強力なので、筐体がその熱をうまく逃がせるかどうかを確認する必要があります。冷却機能が不足していると、取り付けブラケットが変形してしまう可能性があります。電源を入れる前に、仕様をしっかり確認しておくことが重要です。
実際の利用例
これらの装置は、既存の硬化オーブンやウェーハ処理ラインの代替品として使用できます。真空密封構造を採用しているため、内部のガスが無菌ゾーンに漏れ出る心配もありません。
接続すると、安定した動作が確認できます。ちらつきもなく、不必要な粒子も発生しません。常に安定した温度制御が可能で、何千回でも同じ工程を繰り返しても空気の質を気にする必要はありません。