なぜスマートファブには、熱を制御するために赤外線が必要なのか インダストリー4.0のファブを構築する際には、熱の扱い方を見直す必要があります。 これまで使われてきた従来型の抵抗加熱方式では、処理速度が遅すぎます。また、熱的な遅延が生じてしまい、デジタル化された生産ラインの効率を損なってしまいます。...

ウェーハを乾燥させる際には、適切なバランスが求められます。表面の水分を素早く取り除く必要がありますが、熱を強く当てすぎると、ウェーハにストレスがかかってしまいます。 私たちの多くは、この目的のために赤外線放射器を使用しています。しかし問題は、一般的な石英ランプは効率が悪いということです。発生した熱...

装置を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。 半導体製造に使われる装置の中には、まるで空気暖房のように感じられるものもありますよね？ 一般的な抵抗加熱器は効率が悪く、熱があちこちに漏れ出してしまい、チャンバ全体が温まってしまいます。問題は、実際には部屋全体を温める必要はなく、ウェーハだ...