省エネ型半導体ヒーター

なぜスマートファブには、熱を制御するために赤外線が必要なのか インダストリー4.0のファブを構築する際には、熱の扱い方を見直す必要があります。 これまで使われてきた従来型の抵抗加熱方式では、処理速度が遅すぎます。また、熱的な遅延が生じてしまい、デジタル化された生産ラインの効率を損なってしまいます。...