
为什么镀金反射器对硅片加工如此重要
如果在加热硅片时,设备外壳也会变得很热,那其实就是在白白浪费钱。这显然是一种设计缺陷。大多数人最初会使用铝制反射器,但问题在于它们会吸收过多的能量。
因此,我们才选择使用黄金作为反射材料。通过给反射器镀上黄金,我们可以确保灯泡发出的红外线能够直接照射到硅片上。
其中的奥秘在于物理学原理。
黄金比经过抛光的钢或铝更能有效处理红外线。它不会“捕获”光子,而是将它们反射回去。这样一来,热量分布会更均匀,整个硅片的温度也能保持一致。这样就不用再担心边缘部分的温度是否与中心部分相同了。
不过,这里有个问题:
当试图在狭小的空间内实现快速升温时,情况就会变得复杂起来。如果将高功率的红外灯与镀金反射器结合使用,那么就必须要做好冷却措施。因为黄金具有很强的散热能力,那些没有照射到硅片上的红外线将会作用于设备的外壳。如果没有良好的通风系统,设备就有可能被烧毁或变形。这可不是什么好事。
这样的投资值得吗?
显然,黄金的价格并不便宜。如果你只是进行低精度加工,那这种做法或许有些过度了。就像没必要为了去杂货店而驾驶法拉利一样。
但在半导体加工中,温度的均匀性才是最重要的。在这种情况下,稳定性以及节能效果使得这种投资变得非常合理。
一个实用建议: 每周都要检查一次灯泡的定位情况。即便有高反射率的反射器,哪怕只有轻微的倾斜,也可能会造成局部过热的情况。这样一来,硅片的掺杂或蚀刻过程就会变得不均匀,最终导致昂贵的硅片被报废。
在安装设备时,建议使用耐高温的导线。同时,还要确保PID控制器的响应速度足够快。因为黄金的反应速度很快,控制器也需要跟上它的节奏。