在光刻工艺中，电子束抗蚀剂烘烤并非一个简单的工序——它实际上决定了线条宽度的精确度。如果烘烤温度出现5°C的偏差，就会迅速影响产品的关键尺寸。在制造过程中，不能凭猜测行事，因为那样做肯定会导致不良结果。 我们设计电子束抗蚀剂烘烤加热器时，会遵循一个核心原则：其热性能必须符合标准要求，不能有任何随机...

在晶圆厂车间，光刻胶处理的误差裕度以纳米计量。软烘或硬烘过程中温度偏差几度，就足以导致关键尺寸偏移，影响良率。我们设计的红外光刻胶烘烤灯，旨在消除这种不确定性。 技术关键点 我们采用短波红外（NIR）发射器，将能量直接传导至光刻胶层，最大程度减少热滞后。在整个烘烤曲线范围内，实现晶圆级温度均匀度控...