保护洁净室中的加热元件及晶圆完好无损
在洁净室里，哪怕是微小的电弧或电流泄漏，都可能造成严重后果。它可能会瞬间毁掉整批晶圆。因此，我们设计的加热元件必须具备良好的热稳定性，同时不会影响周围其他设备的电气性能。
为什么我们要对每一个加热管进行测试？
有些工厂只对每十个产品中的一个进行抽样检测，希望以此来保证产品质量。但我们不会这么做。 我们生产的每一个加热管，在离开工厂之前都会经过严格的耐压测试和绝缘电阻测试。 原因很简单：加热元件通常安装在装有极其敏感的传感器的复杂装置中。如果绝缘层出现微小的裂纹，或者焊点存在问题，电流就有可能渗入加热元件的结构中。您可能不会立刻察觉到这个问题，直到在洁净室中将所有设备连接起来后才发现问题。我们会在工厂里就发现这些问题，这样您就无需在洁净室里才发现它们了。
应对热量与电流泄漏的问题
高功率的加热元件会产生极高的温度。这种反复的加热和冷却过程会导致材料膨胀和收缩。久而久之，这会给绝缘层带来巨大压力。为了解决这个问题，我们使用那些即使在高温下也能保持良好绝缘性能的材料。 不过，有一点需要注意：虽然我们的加热元件非常坚固，但它们无法解决安装不当的问题。如果接线质量不佳，或者加热元件的外壳没有正确接地，那么内部的绝缘层就无法防止外部短路。这部分问题则需要由您来处理。
磨损的现实问题
在工厂里进行缺陷检测固然很好，但时间却不会停止流逝。经过数千小时的运行后，热氧化作用会逐渐侵蚀加热元件的外层绝缘层。为了避免突然出现故障，我建议每隔六个月就进行一次绝缘电阻测试。这是一种简单的检查方法，可以防止小故障演变成严重的系统故障。