In der Fertigungsbühne reicht bereits eine einzige Charge, die nicht den Anforderungen entspricht, aus, um ganze Mengen an Produkten als unbrauchbar zu betrachten. Temperaturgleichmäßigkeit, Partikelzahl im Reinraum sowie Wiederholgenauigkeit sind keine Kennzahlen, die man in Präsentationen berücksichtigt – sie bestimmen vielmehr, ob ein Produkt als gut genug gilt oder ob es als unbrauchbar angesehen werden muss. Wir haben eine Lampe entwickelt, die dafür sorgt, dass der Photoresist während des Trocknungsprozesses innerhalb des optimalen Temperaturbereichs bleibt – ohne dass dabei auf Präzision verzichtet werden muss.
Was technisch wichtig ist:
Wir haben die Lampe so gestaltet, dass sie den thermischen Anforderungen der Halbleiter entspricht: Eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C über die gesamte Fläche des Wafers, eine stabile Leistung in Reinräumen der Klassen 1–100 sowie keine Partikelbildung während des Betriebs. Das Kurzwellen-infrarote Licht erreicht die gewünschte Temperatur schnell, verringert die Zeitverzögerungen beim Erwärmen und sorgt dafür, dass die Eigenschaften des Photoresists von Charge zu Charge konstant bleiben. Dadurch entstehen wiederholbare Trocknungsprozesse, weniger Variabilität bei den Ergebnissen sowie Prozessbedingungen, auf die man sich verlassen kann.
Warum sie geeignet ist:
In den Lithografieanlagen kann die Lampe direkt in die vorhandenen Trocknungs- und Erhitzungsinstrumente eingebaut werden. Die schnelle Temperaturanhebung verkürzt die Bearbeitungszeit, während die stabile Temperaturführung dazu beiträgt, Abweichungen und Nacharbeit zu vermeiden. Die Effizienz sowie die kurze Betriebsdauer führen zu einem geringeren Energieverbrauch. Zudem bedeutet die lange Lebensdauer weniger Austausche, weniger Stillstandzeiten und einen geringeren Bedarf an Ersatzteilen. Es handelt sich somit um eine Lösung, die auch bei komplexen Produktionsabläufen funktioniert, ohne das Budget zu überschreiten.
Was Sie wissen müssen:
Die Installation ist maschinenabhängig – daher sollten Sie unbedingt die Kompatibilität der Steckdose, die Spannung sowie den Anschlusstyp mit den Angaben im Handbuch Ihrer Maschine überprüfen. Stellen Sie sicher, dass Ihre Prozessparameter mit dem thermischen Profil der Lampe übereinstimmen – einige Polymere benötigen schließlich eine andere Wellenlänge oder eine andere Belichtungszeit, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Planen Sie die Austausche während der Wartungszeiten ein, damit nicht plötzliche Ausfälle auftreten. Außerdem ist es wichtig, die Regeln des Reinraums einzuhalten.