Hören Sie auf, auf den Spülvorgang zu warten – IR gegen Heißluft
Wenn Sie schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet haben, wissen Sie, dass die Spülphase normalerweise der Punkt ist, an dem alles langsamer wird. Das ist das typische Engpassproblem.
Viele Menschen verwenden immer noch Heißluft zur Erwärmung. Das Problem ist jedoch, dass es sich dabei um Konvektionswärme handelt. Zuerst wird die Luft erhitzt, anschließend muss die Kammer erst warm werden – erst danach kann die Waferoberfläche erwärmt werden. Es handelt sich dabei um einen langsamen Prozess. Man hat das Gefühl, nur Zeit zu verschwenden.
Das Besondere bei Infrarotstrahlung:
Bei der IR-Heizung ändert sich die Reihenfolge völlig. Anstatt den Raum zu erhitzen, strahlen die IR-Lampen elektromagnetische Strahlung direkt auf die Waferoberfläche ab. Dadurch entfällt der Zwischenschritt der Raumheizung. Es gibt keinen „Warmup-Zeitraum“. Für einen Spülvorgang bedeutet das, dass die Wafer deutlich weniger Zeit damit verbringen müssen, einfach nur dort zu liegen. So können pro Stunde mehr Produkte bearbeitet werden – ohne dass mehr Platz benötigt wird. Das ist ein großer Vorteil für den Arbeitsablauf.
Aber man kann keine gewöhnlichen Lampen in Bereiche mit Wasser bringen.
Wasser und Elektronik vertragen sich nicht. Feuchtigkeit oder Spritzer können die Elektronik sofort zerstören oder den Quarzkörper beschädigen. Deshalb nutzen wir Lampen mit speziellen wasserdichten Abdichtungen und feuchtigkeitsresistenten Beschichtungen. Dadurch kann die Wärmequelle genau dort platziert werden, wo sie benötigt wird – nämlich in der Nähe des Werkstücks.
Wichtig zu beachten: Da diese Lampen Energie sehr schnell abgeben, muss man bei der Steuerung besonders vorsichtig sein. Wenn die Einstellungen nicht richtig sind, kann die Temperatur zu hoch werden und das Werkstück beschädigen. Es handelt sich dabei um eine leistungsstarke Technologie – daher ist Präzision wichtig.
Der Umstieg
Für die meisten alten Konvektionsöfen ist der Umstieg auf wasserdichte IR-Lampen recht einfach. Dadurch erhält man eine schnellere Erhitzung und benötigt weniger Platz.
Ein Tipp vor dem Start: Überprüfen Sie Ihre Stromversorgung. IR-Lampen benötigen eine hohe Leistung – das unterscheidet sich von den herkömmlichen Heizelementen. Stellen Sie sicher, dass Ihre Verkabelung die maximale Leistung bewältigen kann. Andernfalls können die Sicherungen sofort auslösen, sobald Sie den Schalter betätigen.