クリーンルーム内のキャリアを安全に守り、ウェーハを壊れないようにするために
クリーンルームでは、わずかな電気的なアークや漏れ電流でさえも大惨事につながります。一瞬にして大量のウェーハが破損してしまう可能性があります。そのため、私たちはヒーターを設計する際に、周囲の電気系統に影響を与えずに、安定した温度を保つようにしています。
なぜすべてのヒータートランスをテストするのか
一部の工場では「サンプル検査」を行います。10個中1個だけをテストし、うまくいくことを願うのです。
しかし、私たちはそうしません。
私たちが製造するすべてのヒータートランスは、工場を出る前に、耐電圧試験や絶縁抵抗試験を受けます。
その理由は、キャリア内のヒーターは、非常に敏感なセンサーが詰まった複雑な筐体の中にあるからです。もし絶縁体に微細な亀裂や不十分なはんだ付けがあれば、電流がキャリアのフレーム内に漏れ込んでしまいます。それに気づくことはほとんどありません。クリーンルームで接続してみて初めて問題に気づくのです。私たちはここでそのような漏れを発見し、お客様が現場で問題に直面するのを防ぎます。
熱と漏れの対処法
高ワット数のヒーターは非常に熱くなります。繰り返しの加熱・冷却によって、材料が膨張したり収縮したりします。時間が経つにつれて、これが絶縁体に大きな負担をかけます。これに対処するために、高温でも誘電強度を維持できる素材を使用しています。
しかし、注意点があります。私たちのヒータートランスは非常に堅牢ですが、不適切な取り付け状態を修復することはできません。もし配線が安価だったり、キャリアの筐体が適切に接地されていなかったりすると、内部の絶縁体では外部からのショートを防ぐことができません。それはお客様の責任です。
摩耗の現実
工場で欠陥をチェックするのは良いことですが、時間の流れを止めることはできません。何千時間も使用した後、熱酸化作用によって外側の被覆が劣化してしまいます。これは避けられないことです。突然の故障を防ぐために、6ヶ月ごとに絶縁抵抗のチェックを行うことをお勧めします。これにより、小さな漏れがシステムの停止につながるのを防げます。