
Berhentilah memanaskan peralatan tersebut, dan mulailah memanaskan wafer sahaja. Pernahkah anda perasan bahawa beberapa alat semikonduktor sebenarnya berfungsi seperti pemanas ruangan? Kebanyakan pemanas jenis resistif sebenarnya tidak efisien. Ia akan memanaskan seluruh bilik, bukan hanya wafer yang ingin dipanaskan. Masalahnya ialah kita tidak cuba memanaskan seluruh bilik, tetapi hanya wafer sahaja. Jika dinding dalam peralatan yang bernilai jutaan dolar itu menjadi terlalu panas sehingga boleh membahayakan pengendali atau merosakkan komponen peralatan, itu merupakan masalah besar.
Kami berpendapat ada cara yang lebih baik. Daripada memanaskan segala-galanya, kami menggunakan teknologi inframerah yang berarah. Bayangkan saja ia seperti lampu sorot, bukan lampu biasa. Sementara pemanas konvensional hanya mengeluarkan udara panas ke sekeliling, lampu inframerah pula menghantar radiasi elektromagnetik secara lurus ke permukaan wafer. Permukaan wafer akan menyerap tenaga tersebut, sementara udara di sekeliling dan badan mesin tetap sejuk. Hasilnya, wafer akan mencapai suhu yang tepat, sementara bahagian luar mesin tetap sejuk. Ini tentunya sangat membantu bagi mereka yang bekerja di situ.
Namun, ini bukanlah penyelesaian yang sempurna. Untuk mendapatkan suhu yang sesuai untuk wafer, kami menggunakan lampu kuarsa gelombang pendek. Namun, kerana tenaganya sangat tinggi, penyetelan lampu tersebut harus dilakukan dengan tepat. Jika ada sedikit kesilapan, suhu wafer akan tidak sekata. Ia memerlukan ketelitian yang tinggi, tetapi ia berbaloi.
Kami juga menggunakan kawalan yang sangat tepat untuk memastikan suhu tidak melebihi batas yang ditetapkan. Perlu diingat bahawa tiub kuarsa tersebut sangat rapuh. Jika brackets yang digunakan memberi tekanan yang berlebihan pada tiub tersebut, ia boleh pecah semasa proses pemanasan. Oleh itu, ia perlu dikendalikan dengan hati-hati.
Dengan cara ini, segalanya akan menjadi lebih mudah. Sistem HVAC tidak perlu bekerja keras, dan sistem penyejukan juga boleh berehat seketika. Selain itu, para pekerja tidak perlu berdiri di dekat dinding yang panas sepanjang hari. Bagi para jurutera yang ingin mengurangkan penggunaan tenaga dan mencegah bilik bersih daripada menjadi terlalu panas, ini merupakan penyelesaian yang sangat mudah namun berkesan.