আপনার ফ্যাবে তাপ পরিস্থিতি নিয়ন্ত্রণ করা কীভাবে সম্ভব?
যদি আপনি একটি “স্মার্ট ফ্যাব” ব্যবহার করতে চান, তাহলে সবার আগে হাতে নিয়ে নমুনা সংগ্রহ করার প্রথাটি বাদ দিতে হবে। এটা ধীর, কঠিন, আর আসলে এটা অপ্রচলিত পদ্ধতি। আপনার দরকার হলো রিয়েল-টাইম ডেটা; দশ মিনিট আগের ডেটা নয়।
এখানেই আইআর সেন্সরগুলো কাজ করে। এগুলো ওয়েফারকে স্পর্শ না করেই তাপ সংক্রান্ত তথ্য সংগ্রহ করতে সাহায্য করে। কোনো সংস্পর্শ না থাকার ফলে কোনো দূষণ বা যান্ত্রিক চাপ থাকে না। এটা অনেক সহজ।
ডেটাগুলো কীভাবে কাজ করে?
ওয়েফার ফ্যাবে, যদি তাপমাত্রা সমান না থাকে, তাহলে সমস্যা হয়। আমরা উচ্চ-রেজোলিউশনের আইআর সেন্সর ব্যবহার করে তাপ কীভাবে ওয়েফারের পৃষ্ঠে ছড়ায় তা পর্যবেক্ষণ করি।
সেন্সরগুলো ইনফ্রারেড বিকিরণ সংগ্রহ করে এবং সেগুলোকে ডিজিটাল মানচিত্রে রূপান্তরিত করে। যেহেতু এগুলো সরাসরি PLC বা SCADA সিস্টেমের সাথে সংযুক্ত থাকে, তাই আপনি বিলম্বিত ডেটা দেখছেন না—আপনি রিয়েল-টাইম ডেটা পাচ্ছেন।
বাস্তব জগতে এটাকে কীভাবে ব্যবহার করা যায়?
যখন এগুলোকে ডিজিটাল লাইনে সংযুক্ত করা হয়, তখন অনুমান করার দরকার থাকে না। আমরা এই সিস্টেমগুলোকে এমনভাবে তৈরি করি যাতে এগুলো CVD বা অ্যানিলিং ফার্নেসের কঠোর পরিস্থিতিতেও কাজ করতে পারে—অর্থাৎ উচ্চ ভ্যাকুয়াম ও অত্যধিক তাপমাত্রার পরিস্থিতিতেও।
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, আপনি চাইলেই হিটিং এলিমেন্টগুলো সহজেই সামঞ্জস্য করতে পারেন। যদি কোনো জোনে তাপমাত্রা বেশি হয়ে যায়, তাহলে সিস্টেমটি স্বয়ংক্রিয়ভাবে তাপমাত্রা কমিয়ে দেয়। এভাবেই আপনি ওয়েফার নষ্ট হওয়া রোধ করতে পারেন।
কিন্তু এখানেও কিছু সমস্যা রয়েছে…
এগুলো “সেট করে ভুলে যাওয়ার” ধরনের টুল নয়। আইআর সেন্সরগুলো এমিসিভিটির উপর নির্ভর করে কাজ করে। যদি আপনি সিলিকনের পরিবর্তে গ্যালিয়াম নাইট্রাইড ব্যবহার করেন, তাহলে আপনাকে আবার ক্যালিব্রেট করতে হবে। নইলে আপনার ডেটা ভুল হয়ে যাবে।
আর সেন্সরের উইন্ডোটি নিয়মিত পর্যবেক্ষণ করুন। প্রক্রিয়ার ফলে উৎপন্ন অপদ্রব্যগুলো সেন্সরের লেন্সে জমে যেতে পারে; এতে সিগন্যাল বাধাগ্রস্ত হয় এবং আপনার তাপমাত্রা আসল তার চেয়ে কম দেখায়। নিয়মিত রক্ষণাবেক্ষণ করুন। যদি আপনি এটা উপেক্ষা করেন, তাহলে আপনার ডেটা ভুল হয়ে যাবে, আর আপনাকে আবার অনুমান করতে হবে।