Wie man die Temperatur in der Fabrik wirklich unter Kontrolle bringt
Wenn man auf eine intelligente Fabrik umsteigen will, muss zunächst das manuelle Messen abgeschafft werden. Es ist langsam, mühsam – und im Grunde genommen veraltet. Man benötigt vielmehr eine Echtzeitdatenübertragung, nicht nur einen Zeitpunkt aus zehn Minuten zuvor.
Daher kommen IR-Sensoren ins Spiel. Sie ermöglichen es uns, die Wärmespuren zu ermitteln, ohne die Wafer berühren zu müssen. Kein Kontakt bedeutet keine Kontamination und keinen mechanischen Stress – alles ist einfach sauberer.
Wie die Daten tatsächlich funktionieren
In einer Waferfabrik kann es Probleme geben, wenn die Temperatur nicht gleichmäßig ist. Wir verwenden hochauflösende IR-Sensoren, um zu beobachten, wie sich die Wärme über die Oberfläche ausbreitet.
Die Sensoren erfassen das Infrarotstrahlung und wandeln es in eine digitale Karte um. Da sie direkt mit dem PLC- oder SCADA-System verbunden sind, erhält man keine verzögerten Datenerfassungen – man bekommt eine Echtzeit-Kartierung der Temperaturen. Genau jetzt. In Echtzeit.
Die Anwendung in der Praxis
Wenn diese Sensoren in digitale Systeme eingebunden werden, verschwinden alle Unsicherheiten. Wir entwickeln solche Systeme so, dass sie auch unter den extremen Bedingungen in CVD- oder Glühöfen funktionieren – also bei hohem Vakuum und extremen Temperaturen.
Das Beste daran: Man kann die Heizelemente nach Belieben anpassen. Wenn eine Zone zu heiß wird, reduziert das System automatisch die Leistung. Einfach. So kann man vermeiden, dass Wafer verschwendet werden, und die Menge an Ausschuss reduzieren.
Die Einschränkungen (denn es gibt immer welche)
Auch diese Sensoren sind keine „einfach einstellen und vergessen“-Geräte. Die Genauigkeit der Messungen hängt von der Emissivität des Materials ab. Wenn man das Material von Silizium auf Galliumnitrid wechselt, muss man die Sensoren neu kalibrieren. Andernfalls sind die Messwerte falsch. Punkt.
Außerdem muss man auf die Sensorfenster achten. Prozessabfälle können sich auf den Linsen ansammeln, wodurch das Signal blockiert wird und die gemessenen Temperaturen niedriger ausfallen als sie eigentlich sind. Achten Sie auf die Wartung der Sensoren. Wenn man das ignoriert, werden die Daten ungenau – und man muss wieder raten.