ファブ内の熱を正確に把握する方法
スマートファブを実現するためには、まず手動でのサンプリングをやめる必要があります。それは時間がかかり、面倒であり、正直、時代遅れです。10分前のデータではなく、リアルタイムのデータが必要です。
そこで役立つのがIRセンサーです。これにより、ウェーハに触れることなく、熱の分布を把握できます。接触しないため、汚染や機械的なストレスも発生しません。より清潔です。
データの仕組み
ウェーハファブでは、温度が均一でないと問題になります。私たちは高解像度のIRセンサーを使って、熱が表面にどのように広がっていくかを監視します。
センサーは赤外線を検出し、それをデジタルマップに変換します。PLCやSCADAシステムに直接接続されているため、遅延したデータを見ることはありません。リアルタイムの熱マップが得られます。今、リアルタイムで。
実際の環境での利用
これらをデジタルシステムに接続すれば、推測は不要になります。CVDやアニーリング炉といった過酷な環境でも耐えられるように、このシステムは設計されています。超高真空や極端な高温の環境でも問題ありません。
一番いい点は、加熱要素を即座に調整できることです。ある領域の温度が上がりすぎた場合、システムが自動的にその温度を下げます。とても簡単です。これにより、ウェーハの無駄遣いを防ぎ、スクラップ率を下げることができます。
注意点（必ずあるものです）
しかし、これらは「設定して忘れておける」ツールではありません。IRセンサーの性能はエミッシビティに依存します。もし素材をシリコンからガリウム窒化物に変更した場合、再調整が必要です。そうしなければ、数値が不正確になります。
また、センサーの窓に汚れが付くと、信号が遮断され、実際の温度よりも低く表示されてしまいます。**メンテナンスを怠らないことが大切です。**そうしないと、データが不正確になり、再び推測に頼るしかありません。